中国航空科学基金(2006ZD44001)
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 相关作者：朱振宇傅星陈晓梅万宇曹航更多>>
- 相关机构：中航工业北京长城计量测试技术研究所天津大学中国白城兵器试验中心更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程金属学及工艺更多>>
- 纳米校准与测试——基于纳米测量机的试验性研究被引量：2
- 2008年
- 主要介绍了基于纳米测量机的高阶梯差台阶标准样板和深沟槽深度标准样板计量测试和校准工作研究,包括在NMM上对两种标准样板进行计量测试和校准、在NMM上安装不同的探测传感器时纳米级深度标准样板和台阶高度样板的校准比较、以及在研航空基金项目"在NMM上实现小型非球面的坐标扫描轮廓测量方法"。
- 陈晓梅万宇朱振宇
- 关键词：纳米测量机
- 移相干涉中移相误差测量与补偿
- 2011年
- 移相干涉测量中对移相器的移相误差进行测量与补偿是提高该测量方法准确度的有效手段。通过研究移相干涉移相误差对测量结果的影响,提出了测量移相器工作时位移与角度变化的方法,建立了相应的实验测量装置,实现了移相器的位移及角度变化的测量。根据移相器中位移与角度的数学关系完成了移相误差的补偿,修正后的移相效果在移相干涉仪中采用了整周期移相干涉图灰度差值的方法进行了验证。
- 朱振宇傅星王大江曹航李华丰
- 关键词：图像处理
- 阶跃型边界平面干涉测量技术
- 2011年
- 为完成复杂平面样板的测量,提出了一种循环单纯形边缘特征提取及种子填充的数字图像处理技术,解决了复杂平面样板相位复原的问题;应用波长合成技术和小数重合法在相位偏移干涉系统中实现了阶跃型边界平面样板的干涉级次整数部分及小数的测量。在实验中对两种阶跃型平面样板测量的重复性达到了10nm,将其测量结果和三维纳米测量机的测量结果进行了比较,两种仪器测量数据最大偏差8 nm。分析了实验数据的可靠性以及两种测量仪器的优缺点,为复杂平面样板的测量提供了一种新的思路。
- 朱振宇傅星王霁
- 关键词：小数重合法
