福建省自然科学基金(2010J05122)
- 作品数：4 被引量：20H指数：2
- 相关作者：杨炜郭隐彪王振忠钟波潘日更多>>
- 相关机构：厦门大学中国工程物理研究院更多>>
- 发文基金：福建省自然科学基金国家自然科学基金福建省科技重大专项更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>
- 快速抛光技术接触压力建模与仿真被引量：2
- 2012年
- 快速抛光技术不但可提高加工速度,还能保证抛光精度,是实现超精密平面光学元件批量化加工的最有效加工方式.通过对快速抛光原理的分析,建立了工件与抛光垫之间的弹性力学模型,分析了载荷条件和边界位移条件,并以此为基础建立了工件与抛光垫的有限元模型.通过仿真分析得出了接触压力的分布情况,并通过抛光实验验证了仿真结果,为研究快速抛光技术提供了实验理论依据.
- 陈真杨炜郭隐彪
- 关键词：接触压力
- 大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用被引量：2
- 2011年
- 超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速抛光、表面织构化等研究应用情况.
- 郭隐彪王振忠彭云峰杨炜毕果
- 关键词：微纳米加工
- 光学元件亚表面损伤深度及形貌研究被引量：6
- 2013年
- 根据化学蚀刻法,提出了一种光学元件亚表面损伤的检测方法,分别观测了磨削和抛光后K9玻璃蚀刻后的亚表面损伤。研究表明:光学元件磨削亚表面损伤在光学显微镜下的表现形式为弹坑状缺陷和脆性裂纹;光学元件抛光后也产生了亚表面缺陷,其在AFM下的表现形式为细长条纹状划痕。
- 吴沿鹏杨炜叶卉胡陈林
- 关键词：光学元件抛光蚀刻
- 大口径非球面元件可控气囊抛光系统被引量：10
- 2012年
- 根据大口径非球面光学元件的实际加工需要,设计并制造可控气囊抛光系统,并对机构进行运动学仿真,仿真结果表明,气囊自转轴的运动空间可以满足大口径非球面光学元件的连续进动加工要求。为了证明所设计系统的可加工性,以直径320mm的圆形平面光学元件进行加工实验。经过该气囊抛光工具24h的抛光后,工件达到较好的面型精度,光学元件的表面粗糙度由0.272λ减小到0.068λ(λ=632.8nm),PV值从1.671λ降低到0.905λ。对光学元件的实际加工实验结果表明:可控气囊抛光系统在加工过程中结构稳定性好,符合设计要求,可有效提高加工工件面型精度。
- 潘日杨炜王振忠郭隐彪王健钟波
