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陕西省普通高等学校重点学科专项资金建设项目(101-00X901)
作品数:
1
被引量:5
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相关作者:
丁宇
张晓静
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2011
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氧气流量对磁控溅射AZO薄膜光电性能的影响
被引量:5
2011年
采用直流反应磁控溅射方法在载玻片基体上制备AZO薄膜,研究氧气流量对所制备AZO薄膜光电性能及微观结构的影响。结果表明,氧气流量显著影响AZO薄膜的光电性能和结晶状况,当氧气流量高于0.08×10-6 m3/s时所制备的薄膜可见光透过率高但薄膜不导电;当氧气流量低于0.04×10-6 m3/s时沉积的薄膜呈现出金属性特征,薄膜导电不透明;只有在一个较窄的氧气流量范围内才能制备出光电性能均优的AZO薄膜。当氧气流量为0.06×10-6 m3/s时沉积的AZO薄膜具有较低的电阻率,为2.39×10-3Ω.cm,且薄膜在可见光区薄膜的平均透过率在90%以上。
丁宇
蒋百灵
田亚萍
马二云
张晓静
曹智睿
赵志明
关键词:
AZO薄膜
直流反应磁控溅射
光电性能
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