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陕西省普通高等学校重点学科专项资金建设项目(101-00X901)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：丁宇张晓静马二云田亚萍曹智睿更多>>
相关机构：西安理工大学更多>>
发文基金：陕西省自然科学基金陕西省普通高等学校重点学科专项资金建设项目更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇直流反应磁控...
  • 1篇溅射
  • 1篇光电
  • 1篇光电性
  • 1篇光电性能
  • 1篇反应磁控溅射
  • 1篇AZO薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇西安理工大学

作者

  • 1篇赵志明
  • 1篇蒋百灵
  • 1篇曹智睿
  • 1篇田亚萍
  • 1篇马二云
  • 1篇张晓静
  • 1篇丁宇

传媒

  • 1篇西安理工大学...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
氧气流量对磁控溅射AZO薄膜光电性能的影响被引量：5
2011年
采用直流反应磁控溅射方法在载玻片基体上制备AZO薄膜,研究氧气流量对所制备AZO薄膜光电性能及微观结构的影响。结果表明,氧气流量显著影响AZO薄膜的光电性能和结晶状况,当氧气流量高于0.08×10-6 m3/s时所制备的薄膜可见光透过率高但薄膜不导电;当氧气流量低于0.04×10-6 m3/s时沉积的薄膜呈现出金属性特征,薄膜导电不透明;只有在一个较窄的氧气流量范围内才能制备出光电性能均优的AZO薄膜。当氧气流量为0.06×10-6 m3/s时沉积的AZO薄膜具有较低的电阻率,为2.39×10-3Ω.cm,且薄膜在可见光区薄膜的平均透过率在90%以上。
丁宇蒋百灵田亚萍马二云张晓静曹智睿赵志明
关键词：AZO薄膜直流反应磁控溅射光电性能
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