江苏省高校自然科学研究项目(08KJD430007)
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
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- 相关领域：电子电信电气工程理学更多>>
- 氧化浓缩法制备SGOI材料
- 2012年
- 利用SiGe/SOI材料的高温常压氧化技术,研制了SGOI材料。通过透射电镜和Raman光谱分析,获得了SGOI材料的微结构和成份特性。实验结果表明,经过高温氧化,原来的SiGe/SOI材料中的SOI层转变成SiGe层,SiGe层的成分分布均匀,并且通过产生位错等缺陷释放应变,因而形成了具有高度弛豫SiGe层的SGOI材料。
- 程新利沈娇艳潘涛
- 关键词：弛豫
- 一种新型MEMS微电感制作工艺和模拟研究被引量：1
- 2014年
- 采用光刻、干法刻蚀、电镀等微机电系统(MEMS)工艺设计了一种新型的带磁芯的螺线管微电感。采用COMSOL Multiphysics有限元软件,计算了不同频率交流载荷下的等效电阻、等效电感和阻抗随频率变化的关系。模拟结果表明,在1kHz^1MHz的频率范围内,其等效电感值基本不变,约为27nH,电阻值约为9Ω,射频模拟结果表明其共振频率为0.45GHz。
- 谈志杰沈娇艳程新利王友清潘涛
- 关键词：有限元模拟MULTIPHYSICS
