国家高技术研究发展计划(2009AA04Z328)
- 作品数：8 被引量：18H指数：3
- 相关作者：何秀丽李建平高晓光贾建赵玲更多>>
- 相关机构：中国科学院电子学研究所中国科学院大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 基于超薄钽酸锂晶片及炭黑红外吸收层的热释电探测器被引量：3
- 2014年
- 基于钽酸锂（LiTaO3）的热释电探测器具有灵敏度高、热释电系数大、响应范围宽等优点而被广泛应用于非分光红外气体检测．在nTaO3，热释电探测器制备过程中，采用预置沟槽方法制备出约20μm厚的超薄LiTaO3晶片，该方法既能控制晶片厚度又能实现自动解片，简化了探测器制备工艺；采用电喷雾方法制备出炭黑红外吸收层，该方法工艺简便，制备的吸收层分布均匀，结构疏松．电喷雾时间为20rain时制备的吸收层在常用气体吸收波段（2．5～10μm）的红外吸收率达98％以上，使探测器信号幅值提高了约2．6倍．热释电探测器性能测试结果表明：单元结构探测器的黑体探测率可达1．78×10。cm·Hz1/2。／W；二元补偿结构探测器信噪比为单元器件的2倍；将二元补偿结构探测器应用于非分光红外气体测试系统，进行了SO2气体检测，等噪声检测下限约为1×10^-6．
- 赵玲赵燕何秀丽贾建高晓光李建平
- 关键词：热释电钽酸锂气体检测
- MEMS热膜式微流量传感器被引量：3
- 2013年
- 针对气体红外吸收的气动探测应用,设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响。当热敏电阻间距为200μm、工作温度为150℃以及气体流量在-5～5 mL/min时,微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系,灵敏度约为299 mV/(mL/min)。微流量传感器气体流量理论检测下限约为1.7μL/min,在气体流量为6μL/min时,响应时间(90%)和恢复时间(90%)分别为16和34 ms。研究了微流量传感器温度补偿方法,消除了环境温度对灵敏度的影响。
- 侍艳华何秀丽高晓光贾建李建平
- 关键词：微流量传感器
- 用于光气动探测的微流量传感器被引量：1
- 2013年
- 针对气体红外吸收的气动探测应用,设计了基于MEMS技术的Sandwich结构硅基微流量传感器。在1 mm2面积内制备了阻值约1.6 kΩ的蛇形Pt薄膜作为加热及测温电阻,其电阻-温度系数(TCR)约2.2×10-3/℃.Pt薄膜采用4μm厚氮化硅悬梁作支撑,在125℃工作温度下功耗约44 mW.研究了Pt薄膜电阻对的间距以及工作温度对微流量传感器性能的影响,并将其用于CO2气体检测。在0～1 mL/min的测试范围内,该微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系,理论检测下限约8.5μL/min,可用于气体红外吸收的气动探测。
- 赵永翠何秀丽赵玲李建平高晓光贾建
- 关键词：微流量传感器
- 非共振光声CO_2气体检测系统被引量：2
- 2012年
- 非共振光声红外气体检测系统结构简单、成本低,有很好的应用前景。设计和制备了基于MEMS电调制光源、驻极体麦克风和单腔室及双腔室非共振光声探测器的气体检测系统。根据系统的频率响应特性选择了最佳的光源调制频率,并对不同体积分数的CO2气体进行了测试。相对于传统的单腔室结构,设计的双腔室结构有效提高了系统的响应信号幅值,并降低了气体检测限,单腔室系统的检测限约为7.2×10-6,双腔室系统的检测限约为2.1×10-6。
- 管人宝何秀丽高晓光赵玲李建平贾建
- 基于谐波分析的NDIR气体检测系统被引量：7
- 2014年
- 针对传统非分光红外（NDIR）气体检测系统智能化程度低和信号分析能力差的问题,采用虚拟仪器技术构建基于快速傅里叶变换谐波分析的新型红外气体检测系统.系统以单板机PCM3353为核心,选用MEMS电调制光源和热释电红外探测器,采用单板机扩展采集卡PM518进行探测器信号采集,在LabVIEW环境中对探测器信号进行滤波降噪和频域分析.SO2气体检测试验表明：相对于传统的数据处理方法,系统信噪比提高了3～5倍,气体检测下限降低为原来的1/4.
- 赵玲何秀丽贾建高晓光李建平
- 关键词：谐波分析快速傅里叶变换热释电
- 聚偏氟乙烯电纺纤维膜的制备及其热释电性能研究被引量：1
- 2012年
- β晶相的聚偏氟乙烯(PVDF)由于具有强压电和热释电特性,被广泛应用在能量收集、红外探测等领域。采用静电纺丝技术制备PVDF纤维,通过SEM以及XRD表征,研究了溶剂组成、溶液浓度和纺丝液供给速度等纺丝参数对PVDF纤维膜形貌和β晶相含量的影响,制备出连续、均匀、直径约600nm的PVDF纤维。另外,测试了PVDF纤维膜对不同调制频率的3.4μm波长红外光的热释电响应特性。
- 邓凌越赵燕赵玲何秀丽李建平
- 关键词：电纺聚偏氟乙烯热释电
- 非共振光声红外气体传感器结构参量分析被引量：2
- 2012年
- 非共振光声红外气体传感器在气体检测领域有很好的应用前景。对基于MEMS红外光源的非共振光声红外气体传感器进行了一维模拟,分析了光声腔及红外吸收光路结构对传感器性能的影响;计算了吸收腔气体压强变化量与吸收腔长度及调制频率的关系,研究了光路内壁反射率、样品气室长度对样品气体红外吸收效率的影响。简化的理论分析和计算结果,可以为非共振光声红外气体传感器的结构设计提供参考。
- 管人宝何秀丽高晓光赵玲李建平贾建
- 关键词：红外气体传感器
- 基于PVDF压电膜片的光声探测器制备及应用
- 2015年
- 非共振光声红外气体检测系统因其结构简单,成本低和检测灵敏度高的特点,具有较好的应用前景。该文提出了以聚偏氟乙烯(PVDF)压电膜片为微压敏感元件的非共振光声探测器,利用ANSYS对压电膜片进行了有限元分析,设计制备了双膜片结构微压敏感元件,其中PVDF压电膜片厚度为20μm,尺寸为10mm×5mm。设计了包含吸收腔和补偿腔的双腔室结构,并完成了光声探测器的封装。将光声探测器应用于非分光红外(NDIR)气体检测系统,探测器的输出信号与CO_2气体浓度有较好的线性关系,最低理论检测浓度约为29×10^(-6)。
- 何国明何秀丽高晓光贾建李建平
- 关键词：有限元分析
