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江西省教育厅科学技术研究项目(GJJ09188)
作品数:
1
被引量:1
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相关作者:
李多生
邹爱华
周贤良
左敦稳
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相关机构:
南昌航空大学
南京航空航天大学
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发文基金:
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江西省教育厅科学技术研究项目
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稳定性
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左敦稳
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2010
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等离子体稳定性对曲面金刚石膜生长的影响
被引量:1
2010年
采用直流等离子体喷射化学气相沉积(DCPJCVD)制备曲面金刚石膜,等离子体稳定性对金刚石膜生长十分重要。研究表明,曲面金刚石膜长时间生长,阳极积聚石墨碳点,等离子体流动受阻失稳,金刚石膜含较多杂质。通过对阳极除碳处理,可维持稳定的等离子体、稳定的电子温度Te、均匀的活性原子及原子基团密度。制备的金刚石膜经SEM、Raman等表征,发现曲面金刚石膜致密、晶粒均匀,仅发现金刚石特征峰,制备的曲面金刚石膜质量较高。
李多生
周贤良
左敦稳
邹爱华
关键词:
CVD
稳定性
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