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表面物理与化学国家重点实验室开放基金(90000460200504)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：刘柯钊梁宏伟严东旭白彬龙重更多>>
相关机构：中国工程物理研究院更多>>
发文基金：中国工程物理研究院基金表面物理与化学国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇渗氮
  • 1篇全方位离子注...
  • 1篇离子注入
  • 1篇PIII
  • 1篇铀

机构

  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 1篇龙重
  • 1篇白彬
  • 1篇严东旭
  • 1篇梁宏伟
  • 1篇刘柯钊

传媒

  • 1篇材料热处理学...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
铀表面全方位离子注入渗氮处理研究被引量：4
2008年
利用全方位离子注入技术在金属铀表面进行渗氮处理。结果表明,离子注入温度和脉宽是关键工艺参数;提高基体温度,明显增加氮离子在铀中的注入深度。利用俄歇电子能谱(AES)分析注入工艺参数与渗氮层深度间的关系,增加注入脉宽能明显提升含氮层深度。在其它工艺参数不变的情况下,采用60μs脉宽的渗氮层深度比40μs有显著增加,而80μs注入脉宽的渗氮层深度比低温氮离子注入深度提高一个数量级。脉冲负高压对渗氮层深度影响并不明显,但会提高氮的保持剂量。
龙重刘柯钊白彬梁宏伟严东旭
关键词：铀渗氮
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