您的位置： 专家智库 > >

国家重点基础研究发展计划(2003AA302170)

作品数：1 被引量：7H指数：1
相关作者：纪爱玲刘澂马利波王永谦更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇退火
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米SI
  • 1篇快速退火
  • 1篇光效
  • 1篇光效率
  • 1篇发光
  • 1篇发光特性
  • 1篇SIN
  • 1篇X

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇王永谦
  • 1篇马利波
  • 1篇刘澂
  • 1篇纪爱玲

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
纳米Si-SiO_x和Si-SiN_x复合薄膜的低温制备及其发光特性被引量：7
2004年
用等离子体增强化学气相沉积法在低温 (低于 5 0℃ )衬底上沉积Si SiOx 和Si SiNx 复合薄膜 ,可得到平均颗粒尺寸小至 3nm的高密度 (最高可达 4 0× 10 1 2 cm- 2 )纳米硅复合薄膜 .5 0 0℃快速退火后 ,这种复合薄膜显现出优异的可见光全波段光致发光特性 .通过比较相同条件下所制备的纳米Si SiOx 和Si SiNx 复合薄膜的光致发光效率 ,发现纳米Si SiNx 具有更为优异的光致发光效率 。
纪爱玲马利波刘澂王永谦
关键词：光效率发光特性快速退火
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0