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国防科技技术预先研究基金(00J1121DZ0137)
作品数:
1
被引量:12
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相关作者:
张玉明
张义门
尚也淳
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杂质不完全离化对SiCMOSFET的影响
被引量:12
2001年
在分析 Si C中杂质部分离化时 ,考虑了 Frenkel- Pool效应 ,通过求解 Si C MOS表面空间电荷区中的一维Poisson方程 ,提出了一个新的 Si C MOSFET反型层薄层电荷 (charge- sheet)数值模型 .对 Si C中杂质不完全离化的研究表明 ,杂质原子较大的离化能、高的掺杂浓度以及低温会使不完全离化的影响增强 ,对于 Si C MOSFET。
尚也淳
张义门
张玉明
关键词:
碳化硅
场效应晶体管
MOSFET
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