中国工程物理研究院科学技术发展基金(2009B0203019)
- 作品数:4 被引量:10H指数:2
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- 相关机构:表面物理与化学重点实验室中国工程物理研究院更多>>
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- 相关领域:金属学及工艺更多>>
- 铀表面纳米铌镀层的组织结构与力学性能研究被引量:4
- 2010年
- 采用磁控溅射离子镀技术在贫铀表面以不同偏压制备了铌镀层,利用X射线衍射仪和扫描电镜对镀层的组织结构进行了表征,采用纳米压痕仪与摩擦磨损仪对镀层的力学性能进行了分析。结果表明:铌镀层平整致密,但存在靶材飞溅颗粒形成的镀层缺陷,铌镀层为体心立方结构,镀层存在择优取向与晶粒细化等特性且为纳米镀层;铌镀层为典型的柱状结构。铌镀层在加载卸载压力的过程中发生了一定的弹性变形和塑性变形,-500 V脉冲偏压所得铌镀层具有较好的综合力学性能,其弹性模量和纳米硬度分别为195.1 GPa,12.9 GPa,摩擦系数约为1.0。
- 王庆富陈林张鹏程蓝林钢郎定木夏云霞
- 关键词:力学性能贫铀
- 氮流量对贫铀表面磁控溅射CrN_x薄膜结构与性能的影响被引量:3
- 2012年
- 金属铀的化学性质十分活泼,极易发生氧化腐蚀.为改善基体的抗腐蚀性能,采用非平衡磁控溅射技术在金属铀表面制备了不同氮含量的CrNx薄膜.采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射技术(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、动电位极化曲线,分别研究了薄膜形貌、物相结构、表面元素化学价态及抗腐蚀性能.结果表明,当氮流量为10 sccm时薄膜主要为体心立方的α-Cr,随氮流量的增大,薄膜转化为六方Cr2N和立方CrN结构,其择优取向由Cr(110)转化为Cr2N(111)及CrN(200),金属态Cr的含量逐渐减少,氮化态Cr的含量增多,Cr2p3/2的结合能峰位逐渐向高结合能方向移动.CrNx薄膜呈纤维状结构,当氮流量增大到30 sccm时,生成了Cr2N的密排结构,有效改善了薄膜的致密性.在金属铀表面制备CrNx薄膜后,自然腐蚀电位增大,腐蚀电流密度降低,当氮流量增大到30 sccm时,薄膜的自然腐蚀电位提高了近550 mV左右,腐蚀电流密度降低约两个数量级,有效改善了贫铀表面的抗腐蚀性能.
- 朱生发吴艳萍刘天伟杨锁龙唐凯魏强
- 关键词:贫铀非平衡磁控溅射CRNX薄膜
- 脉冲偏压对贫铀表面磁控溅射CrN_x薄膜结构与性能的影响被引量:2
- 2012年
- 为改善金属铀基体的抗腐蚀性能,采用非平衡磁控溅射离子镀技术在不同偏压下于金属铀表面制备CrNx薄膜。采用SEM和AFM研究了薄膜形貌和表面粗糙度,采用X射线光电子能谱研究了薄膜表面的元素分布及化学价态。试验结果表明,采用磁控溅射在较低脉冲偏压下沉积的CrNx薄膜晶粒较细小,偏压越高,表面粗糙度越大。生成的薄膜为Cr+CrN+Cr2N混合结构,并含有少量的Cr2O3,随着偏压的升高,金属态Cr的含量减少,而铬的氮化物的含量增加,所制备薄膜的自然腐蚀电位升高,腐蚀电流密度减小。偏压为-800 V时,所制备的薄膜具有较好的抗腐蚀性能。
- 朱生发吴艳萍刘天伟黄河江帆唐凯魏强
- 关键词:贫铀非平衡磁控溅射CRNX薄膜
- 铀表面纳米铌镀层的组织结构与界面特性被引量:1
- 2010年
- 采用磁控溅射离子镀技术在贫铀表面以不同偏压制备了铌镀层,利用X射线衍射仪和扫描电镜对镀层的组织结构进行了表征,利用扫描电镜与俄歇电子能谱仪对镀层与基体的界面特性进行了研究。结果表明:铌镀层平整致密,但存在靶材飞溅颗粒形成的镀层缺陷,铌镀层为体心立方结构,存在择优取向、内应力以及晶粒细化等特性且为纳米镀层;铌镀层沿基体表面的法线方向生长且为典型的柱状结构,其表面为均匀的条状颗粒组织;铌镀层与铀基体结合紧密,且存在"伪扩散层"。
- 王庆富陈林张鹏程刘婷婷郎定木夏云霞肖红
- 关键词:贫铀