广东省教育部产学研结合项目(2006D90404001)
- 作品数：1 被引量：8H指数：1
- 相关作者：顾珩苗军舰陈少纯丘克强更多>>
- 相关机构：广州有色金属研究院中南大学更多>>
- 发文基金：广东省教育部产学研结合项目更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 西门子体系中SiHCl3和SiCl4的热力学行为被引量：8
- 2008年
- 在选取与实际生产相近的温度、氢气配比(H2与SiHCl3的初始比例)和压力的基础上,计算西门子体系中硅源气体SiHCl3的剩余量与副产物SiCl4的生成量,分别绘制二者随所选条件的变化图,并利用这些热力学图,分析温度、氢气配比及压力对西门子法生产多晶硅反应体系中SiHCl3和SiCl4热力学行为影响的规律。结果表明:当压力、氢气配比一定时,SiHCl3的剩余量与温度呈反比,SiCl4的生成量则是先随温度的升高而增加,后又变小;当温度和压力一定时,增大氢气配比SiCl4生成量减少,只有在氢气配比大于5以后SiHCl3的剩余量才与它呈反比关系;当温度和氢气配比一定时,随着压力的降低,SiHCl3的剩余量减少,SiCl4则呈先增加再减少的变化趋势。
- 苗军舰丘克强顾珩陈少纯
- 关键词：热力学行为
