国家自然科学基金(50775209E052502)
- 作品数：3 被引量：14H指数：2
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- 相关领域：机械工程电子电信更多>>
- 压阻式微加速度计灵敏度的温度特性研究被引量：5
- 2008年
- 以压阻式微加速度计为研究对象,定量研究了环境温度对其灵敏度的影响。理论研究结果表明,压阻式微加速度计灵敏度的相对误差随着温度偏差绝对值的增大而增大;其中灵敏度误差在温度偏差为+20℃时达到-4.943%,在温度偏差为-20℃时达到4.982%。设计了压阻式微加速度计压敏电阻的温度特性测试系统,测试结果表明,在温度偏差为+20℃时,灵敏度误差为-4.303%,温度偏差为-20℃时,实验值为4.251%。理论计算值与实验测试值相吻合。
- 王楷群张文栋毛海央
- 关键词：温度偏差迁移率灵敏度
- 可靠性预计模型被引量：1
- 2007年
- 微加速度计是集微电子与机械于一体的加速度敏感元件.微加速度计的应用越来越广泛,但是其可靠性问题成为制约微加速度计市场化的关键因素.为了预计压阻式微加速度计的可靠性,分析了一个完整的压阻式微加速度计,它由加速度计微结构、键合引线以及封装管壳等构成;讨论了加速度计的主要失效类型——由芯片材料缺陷以及工艺缺陷导致的内部失效以及由封装失效和内外引线失效导致的外部失效;详细论述了影响压阻式微加速度计可靠性的主要因素,并在此基础上建立了微加速度计的可靠性预计模型.
- 熊继军高健飞郭涛范波
- 关键词：微加速度计可靠性失效率
- (100)面硅片各向异性腐蚀中的凸角补偿方式被引量：8
- 2008年
- 为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求,在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形,使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状.以一种梁-质量块结构的加速度计为模型,为了在加工过程中,得到完整的质量块结构,使结构具有更好的对称性,对各种凸角补偿方式进行了研究.利用(100)面硅片各向腐蚀速率的快慢特性和一定的几何知识,计算出各种凸角补偿方式最佳的补偿几何尺寸模型.这样,在设计加速度计制造工艺时,就可以直接利用这些尺寸模型,得到最佳的结构.
- 郭涛范波郭虎岗高健飞
- 关键词：湿法腐蚀凸角补偿各向异性腐蚀
