国家自然科学基金(69871029)
- 作品数：2 被引量：7H指数：1
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- 相关机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试被引量：1
- 2002年
- 封装、测试了硅尖阵列 -敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器 ,在计算机模拟计算的基础上 ,对封装好的真空微电子压力传感器进行了实物测试 ,得出实物测试场发射电流曲线 (开启电压低 ,发射电流曲线与计算机模拟曲线一样 ,电压 45V时发射电流可达到86mA ,平均每个硅尖为 2 1 μA)、压力特性曲线 (呈线性变化 ,与计算机模拟计算的曲线相近 )及灵敏度数据。电压 1 .5V即可测试并且其压力特性成线性变化 ,灵敏度为 0 .3 μA/kPa。
- 陈绍凤夏善红
- 关键词：真空微电子压力传感器计算机模拟
- 真空微电子传感器研究及进展被引量：6
- 2001年
- 介绍真空微电子传感器的研究和发展概况 ,着重叙述了真空微电子压力传感器和真空微电子磁传感器的发展 ,并就其研究、发展和应用前景阐述了个人的观点。
- 夏善红
- 关键词：传感器真空微电子磁传感器压力传感器
