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博士科研启动基金(JIT-B-201206)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：沈鸿烈唐正霞江丰更多>>
相关机构：金陵科技学院南京航空航天大学更多>>
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相关领域：理学一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇多晶硅薄膜
  • 1篇铝诱导晶化
  • 1篇硅薄膜

机构

  • 1篇南京航空航天...
  • 1篇金陵科技学院

作者

  • 1篇江丰
  • 1篇唐正霞
  • 1篇沈鸿烈

传媒

  • 1篇金陵科技学院...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
不同薄膜材料上铝诱导多晶硅薄膜的研究
2012年
先在玻璃衬底上制备Mo、掺锡氧化铟(ITO)和掺铝氧化锌(AZO)导电电极材料,然后分别以普通玻璃、玻璃/Mo、玻璃/ITO和玻璃/AZO为衬底,沉积a-Si/SiO2/Al叠层膜,于450°C退火2h。XRD测试表明,4种衬底上非晶硅均可以被诱导生成多晶硅薄膜,因此Mo、ITO和AZO均可以作为铝诱导多晶硅器件的电极材料。
唐正霞沈鸿烈江丰
关键词：多晶硅铝诱导晶化
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共1页<1>
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