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nm量级薄膜厚度测量被引量：13: 2008年; 为了获得nm量级薄膜样品的精确厚度,采用软X射线反射率拟合方法、Bragg衍射方程方法和反射率Fourier变换方法分析了常规Cu靶X射线衍射数据及软X射线反射率数据。对厚度测量结果进行比较,3种方法得到的结果一致性很好。其中,软X射线反射率拟合和Bragg衍射方程方法精度很高,优于1nm,Fourier变换方法精度稍低。对于单层W薄膜样品,3种方法获得厚度分别为(15.21±0.60)nm,(14.0±1.0)nm和(13.8±1.5)nm;对于双层W/C薄膜样品,W层厚度分别为(12.64±0.60)nm,(13.0±1.0)nm和(13.9±1.5)nm。这3种方法测量结果精度主要取决于反射率数据测量精度,而Fourier变换方法精度随着能量升高而提高,随着掠入射角范围增大而提高。; 陈凯崔明启郑雷赵屹东; 关键词：薄膜厚度 FOURIER变换

Transmission measurement of photo-absorption cross section of aluminum in soft X-ray region of 50 to 250 eV: 2008年; The photo-absorption cross section of aluminum was obtained from the ratio of transmission of aluminum thin-films with different area densities from 50 to 250 eV with synchrotron radiation monochromatic beam. Two samples with different area densities were used to minimize the uncertainty caused by the sample surface oxidation and systematic factors of the X-ray source, beamline, and detector. The experimental results are in good agreement with the published data and FEFF program calculations in general.; 陈凯崔明启郑雷; 关键词：SOFT-X-RAY

软X射线反射法测量金属W的光学常量: 2007年; 在同步辐射装置3W1B光束线上测量了软X射线能区50～200eV金属W薄膜的反射率，并采用最小二乘拟合得到其光学常量．实验采用三种样品：Si衬底单层W超薄膜，Si衬底W／C双层膜，SiO2衬底W薄膜．分别获得金属W光学常量，三种样品的结果分别代表W薄膜光学常量，WC薄膜结合中W薄膜的光学常量及体材料W的光学常量．结果表明，前两者结果与以往发表数据一致性较好，第三种样品的结果则更接近已发表的体材料的结果．通过实验结果和已发表数据的比较，发现随着薄膜厚度的降低，光学常量实部（色散因子）变化不明显，而虚部（吸收因子）随之升高．实验不确定度来源于光谱纯净度和光源稳定性．; 陈凯崔明启郑雷赵屹东; 关键词：软X射线金属薄膜

VUV/EUV标准探测器装置和传输标准探测器的标定被引量：1: 2005年; 对研制的安装在合肥国家同步辐射实验室(NSRL)计量光束线上的VUV/EUV标准探测器装置进行了传输标准探测器的首次标定工作.实验选取了3个能点17.625nm,6.8nm和92nm,在这3个能点处分别标定光电二极管,得到其相应的量子效率.结果表明在同一能点多次标定结果的重复一致性很好,相对标准偏差在1%—14%的水平;但是与美国国家标准计量局(NIST)标定过的光电二极管的量子效率比较,短波17.625nm的标定结果较好,而6.8nm和92nm波长的结果差距偏大.偏差主要来自光源稳定性和光谱纯净度的影响.; 郑雷崔明启赵屹东朱杰周克瑾陈凯赵佳孙立娟马陈燕周洪军霍同林; 关键词：EUV VUV 合肥国家同步辐射实验室相对标准偏差量子效率光束线

基于同步辐射软X射线能区的Al和Fe薄膜光吸收截面的初步研究(英文): 2004年; 利用北京同步辐射装置 (BSRF) 3W1B光束线产生的单色软X射线分别测定了Al和Fe薄膜在L2 ,3吸收边附近的光吸收截面 .测量值与理论值比较在远离吸收边时偏差较小 ,并逐渐趋于一致 ,在吸收边附近有较大偏差 ,这主要归因于理论计算所采用的独立电子近似方法在吸收边附近是无效的 .测量结果与若干文献中的实验结果也进行了对比 .虽然由于光束线分辨率和高次谐波的影响 ,实验结果和理论结果在实验能区有一定的偏差 ,但测量结果说明用薄膜透过率测定金属薄膜光吸收截面的方法是可行的 .; 郑雷崔明启朱杰赵屹东; 关键词：光吸收软X射线截面吸收边测量值

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国家自然科学基金(10374088)