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中央高校基本科研业务费专项资金(DUT10LK38)

作品数：1 被引量：1H指数：1
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文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇理学

主题

  • 2篇脉冲
  • 2篇脉冲调制
  • 2篇光谱
  • 2篇SIH
  • 2篇AR
  • 1篇电子激发
  • 1篇电子激发温度
  • 1篇射频
  • 1篇激发温度
  • 1篇光谱研究
  • 1篇光谱诊断
  • 1篇发射光谱
  • 1篇发射光谱诊断
  • 1篇放电

机构

  • 2篇大连理工大学

作者

  • 1篇张娇
  • 1篇张鹏云

传媒

  • 1篇真空
  • 1篇第十五届全国...

年份

  • 2篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
脉冲调制射频容性耦合SiH_4/C_2H_4/Ar放电的发射光谱诊断被引量：1
2011年
本文采用发射光谱法诊断了低气压下氩气(Ar)、硅烷(SiH4)及乙烯(C2H4)混合气体(SiH4/C2H4/Ar)脉冲调制射频放电等离子体特性,利用了Ar发射光谱中的五条谱线通过Boltzmann斜率法计算了电子激发温度,研究了占空比、调制频率、功率及气压等对电子激发温度和谱线相对强度的影响。
张娇张鹏云
关键词：脉冲调制发射光谱诊断电子激发温度
脉冲调制SiH_4/C_2H_4/Ar放电的发射光谱研究
<正>本文采用脉冲调制射频电源,使SiH_4/C_2H_4/Ar混合气体产生放电并与纯Ar放电情形作对比研究,主要是对这两类放电的发射光谱进行研究,研究放电参数一气压,功率和调制参数一调制频率,占空比对电子激发温度的影响...
张鹏云王华强张娇
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