安徽省自然科学基金(050440102)
- 作品数：3 被引量：20H指数：3
- 相关作者：王翔黄文浩李国锋赵钢何冀军更多>>
- 相关机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：安徽省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信化学工程自动化与计算机技术更多>>
- 微细光成型固化工艺参数优化被引量：3
- 2007年
- 为了分析紫外光对液态光敏树脂进行曝光固化成型过程中工艺参数对固化物的形状和精度的影响,根据自行研制的实验系统的大量数据,对线形固化中的主要工艺参数进行了分析和优化。结果表明,在单层液态树脂膜厚30μm,曝光光束功率0.15μW,扫描速度15μm/s以及工作距650μm时能够得到具有较高精度线宽和线高的固化直线段,利用优化的工艺参数,成功实现了三维微小实体结构的成型制造。
- 王翔赵钢马德盛黄文浩
- 关键词：微细加工光固化
- 微细光成形和LIGA工艺集成的可行性分析被引量：8
- 2006年
- 微机电系统的发展,对微细加工技术提出了更高的要求。目前常用的微细制造技术本质是基于掩模光刻的二维半微加工技术,难以进行真三维结构的制造。对单光子和双光子微细光成形技术的成形原理、加工分辨能力进行分析和实验研究,将其与微细电铸等工艺集成,提出一种能实现真三维制造的、具有不同应用材料的微细加工新方法,并从原理上验证了两者集成的可行性,为后续研究奠定了基础。微细光成形与微细电铸集成工艺技术为进一步拓展微细制造技术提供了新途径。
- 王翔赵钢郭锐李国锋黄文浩
- 关键词：微细加工LIGA
- 微细电铸电流密度的有限元分析被引量：10
- 2007年
- 微细电铸过程中,阴极表面的电流密度分布直接影响沉积层的质量。通过对电沉积基本原理的分析,得到了电流密度及其分布对电沉积过程和沉积层质量的影响关系,结果表明,阴极表面金属层的沉积速率与电流密度成正比,沉积层厚度分布与电流密度分布一致。重点利用有限元方法对电沉积系统中电流密度进行了计算,对于不同形状和不同导电化处理方法的微结构,计算结果表明,在导电基底上制作微结构模型以有利于电沉积的结晶;设计用于微细电铸工艺的微结构时,应尽量避免侧壁与基板为锐角的结构,应选取较小的深宽比。从而为基于微细电铸工艺微结构设计的优化提供了基础。
- 李国锋王翔何冀军朱学林黄文浩
- 关键词：有限元法微结构
