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中国科学院知识创新工程(20002A01)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：徐联李俊红汪承灏更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电阻率
  • 1篇微观结构
  • 1篇ZNO
  • 1篇ZNO薄膜结...
  • 1篇AR
  • 1篇C轴
  • 1篇C轴取向
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇汪承灏
  • 1篇李俊红
  • 1篇徐联

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
衬底和O_2/Ar气体比例对ZnO薄膜结构及性能的影响被引量：1
2008年
采用直流磁控溅射法沉积了ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜等手段对薄膜的晶体结构和微观相貌进行了分析,并对薄膜的电学性能进行了考察。结果表明:所制备薄膜沿c轴高度择优,并具有较高的电阻率;ZnO薄膜的沉积速率和c轴择优度是由O2/Ar气体比例和衬底共同决定的;Au衬底上的ZnO薄膜以三维生长为主,在Al和Si衬底上出现了不同程度的薄膜二维生长;电阻率随O2/Ar气体比例的提高逐渐增加,Si衬底上薄膜的电阻率高于Al和Au衬底上的。
李俊红汪承灏徐联
关键词：ZNOC轴取向微观结构电阻率
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共1页<1>
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