辽宁省教育厅高等学校科学研究项目(20092464)
- 作品数：2 被引量：15H指数：2
- 相关作者：陈立佳娄茁宋贵宏李锋熊光连更多>>
- 相关机构：沈阳工业大学更多>>
- 发文基金：辽宁省教育厅高等学校科学研究项目辽宁省博士科研启动基金辽宁省科技厅博士启动基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 铜合金表面Ti/TiN多层膜的制备、结构及其性能被引量：4
- 2012年
- 为了研究多层膜的腐蚀性能,促进多层膜在生产中的应用,采用电弧离子镀技术,通过调整环境N2和Ar气的时间比例在铜衬底上成功制备了不同调制周期的Ti/TiN多层膜.利用x-射线衍射谱和交流阻抗谱研究了该多层膜的结构和腐蚀性能.表面形貌显示,沉积的Ti/TiN多层膜具有明显的周期性,环境中N2和Ar气的时间比例决定了多层膜的调制周期,N2气时间越长,多层膜中TiN相层越厚.腐蚀性能测定表明,多层膜的调制周期影响其耐蚀性,当调制周期为550 nm时,沉积膜的耐腐蚀性最好.
- 宋贵宏娄茁熊光连陈立佳
- 关键词：电弧离子镀调制周期
- 电弧离子镀方法制备的Ti/TiN多层膜的结构与耐腐蚀性能被引量：11
- 2012年
- 采用电弧离子镀技术,通过周期性变换环境气氛,在7075Al合金上制备了Ti/TiN多层膜,并研究调制周期对多层膜的结构组成和腐蚀性能的影响。结果表明:多层膜与铝合金衬底界面结合较好,基本没有孔洞等缺陷。多层膜具有明显的层状特征,层间界面清晰。多层膜中TiN与单层中TiN薄膜有着相同的晶体结构,并存在(111)择优取向,每个调制周期内的TiN层都呈柱状生长。随着调制周期变小,多层膜阳极极化曲线的腐蚀电位增加,交流阻抗谱的阻抗值增大,容抗弧的半径也增大,即膜层的耐腐蚀性增加。多层膜调制周期的减小使得薄膜中含有的层界面增多,而贯穿至衬底表面的针孔等缺陷的数量将减少,这样,腐蚀性介质经过针孔等缺陷与衬底接触的机会变少,这将使薄膜的抗腐蚀能力得到改善。
- 宋贵宏娄茁李锋陈立佳
- 关键词：电弧离子镀耐腐蚀性
