国家自然科学基金(11005146)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 相关作者：王勇邰仁忠丁洪郭春磊吴衍青更多>>
- 相关机构：中国科学院上海应用物理研究所中国科学院更多>>
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- 相关领域：核科学技术一般工业技术更多>>
- 上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究被引量：1
- 2013年
- 同步辐射波荡器光源相干性能逐步提高,使得同步辐射相干光学实验对理论模拟的要求越来越高。对同步辐射光束线空间相干性进行有效的评估,可以指导相干光束线的设计及其相干光学实验的开展。本文利用部分相干光传播计算模型,数值模拟了上海光源软X射线干涉光刻光束线部分相干光的传播,理论和实验结果进行了比较,得到不同参数下的空间相干性,分析了误差产生原因。相干性的定量分析结果可以为实现空间相干性的定量控制提供依据。
- 郭春磊孟祥雨吴衍青王勇邰仁忠
- 关键词：X射线光学空间相干性波荡器相干长度
- 高分辨宽能段软X射线光束线热负载影响与修正被引量：1
- 2014年
- 正在建设中的上海光源梦之线(Dreamline)是一条宽能段、超高能量分辨率的软X射线光束线。如此高指标的光束线在建设过程中有许多难点需要克服,其中光学元件的热变形是达到数万分辨能力的主要障碍。梦之线采用的5 m长的波荡器会产生很高的热辐射从而使各光学元件,特别是第一块平面镜(M1)和第二块平面镜(M2)发生热形变进而影响整个光束线的性能。因此本文计算了Dreamline各光学元件的热功率密度分布,在此基础上对各光学元件进行了稳态热分析,得到M1、M2达到热平衡时的温度,热变形和面形误差分布,进而利用热变形结果对光束线进行了追迹,并且设计了一套热修正装置指导单色仪自身的聚集调节从而消除镜面热变形对光束线性能的影响。结果表明,即使在镜面热变形最高的情况下,通过对各光学元件进行有效的冷却并通过单色仪自身的聚集调节能消除镜面热形变对光束线性能的影响。
- 石应波王勇邰仁忠丁洪
- 关键词：X射线光学面形误差有限元分析
