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吉林省自然科学基金(201115133)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：白晓明张成顺刘有军濮春英佘辉更多>>
相关机构：长春工业大学空军航空大学更多>>
发文基金：吉林省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇断裂韧性
  • 1篇韧性
  • 1篇偏压
  • 1篇膜结构
  • 1篇SI
  • 1篇SI3N4
  • 1篇CRN

机构

  • 1篇长春工业大学
  • 1篇空军航空大学

作者

  • 1篇佘辉
  • 1篇濮春英
  • 1篇刘有军
  • 1篇张成顺
  • 1篇白晓明

传媒

  • 1篇材料导报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
偏压对CrN/Si_3N_4纳米多层膜结构、硬度和断裂韧性的影响被引量：2
2013年
利用磁控溅射法在不同基底偏压条件下制备了CrN/Si3N4纳米多层膜,分别用X射线衍射仪、原子力显微镜及纳米压痕仪表征多层膜的微观结构及力学性能,结果表明,衬底偏压对CrN/Si3N4纳米多层膜微观结构、界面结构、硬度和磨损性能有重要影响。漂浮电位时多层膜界面粗糙,CrN呈(200)、(111)共同生长,硬度和弹性模量低,有偏压且变化时界面宽度和粗糙度变化不大,硬度和模量变化的主要原因是不同衬底偏压下的晶格畸变导致两层材料弹性模量变化和晶粒尺寸变化。基底偏压的优化有助于改善涂层的屈服应力和断裂韧性。
白晓明张成顺佘辉刘有军濮春英
关键词：CRNSI3N4
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