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中国人民解放军总装备部预研基金(51305050301)
作品数:
1
被引量:3
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相关作者:
熊艳丽
屈明山
袁明权
张茜梅
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相关机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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中国人民解放军总装备部预研基金
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中国工程物理...
作者
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武蕊
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熊艳丽
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2013
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基于圆片级阳极键合封装的高g_n值压阻式微加速度计
被引量:3
2013年
设计了一种适合于高gn值压阻式微加速度计圆片级封装的结构,解决了芯片制造工艺过程中电极通道建立、焊盘保护、精确划片等关键技术。采用玻璃—硅—玻璃三层阳极键合的方式进行圆片级封装,较好地解决了芯片密封性、小型化和批量化等生产难题。在4 in生产线上制作的高gn值压阻式微加速度计样品,尺寸仅为1 mm×1 mm×0.8 mm;对传感器进行的校准与抗冲击性能测试,结果表明:样品具备105gn的抗冲击能力、0.15μV/gn/V的灵敏度以及200 kHz的谐振频率。
袁明权
孙远程
张茜梅
武蕊
屈明山
熊艳丽
关键词:
微机电系统
圆片级封装
微加速度计
压阻
阳极键合
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