国家高技术研究发展计划(2008AA042205)
- 作品数：2 被引量：8H指数：2
- 相关作者：刘西锋夏善红董汉鹏张旭辉徐爱东更多>>
- 相关机构：中国科学院大学中国科学院电子学研究所中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 纳米氧化锡修饰的微催化燃烧式氢气传感器的研制被引量：6
- 2013年
- 研制了一种基于多孔纳米氧化锡(SnO2)催化剂的微催化燃烧式气体传感芯片(Pellistor).基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)工艺制备硅基封闭膜式微催化燃烧式传感器,通过气相沉积技术在Pt微加热电极和高温绝缘层表面制备三维纳米氧化锡催化膜,利用催化膜对氢气良好的催化特性,采用惠斯通电桥电路进行测量,实现对空气环境中氢气在0～4%浓度范围内的快速检测,响应时间和恢复时间分别达到0.65 s和2.32 s,灵敏度达75.4mV/1%H2,线性度为99.4%.考察200天内该传感芯片对氢气的检测能力,传感芯片表现出良好的稳定性,精确度保持在95%以上.在绝缘层高温性能稳定的条件下,将三维纳米氧化锡应用于微催化燃烧式传感器的氢气检测,对催化燃烧式传感器性能的改进具有重要的意义.
- 刘西锋董汉鹏夏善红
- 关键词：纳米氧化锡
- 微机械热对流加速度传感器的频响特性及补偿被引量：2
- 2013年
- 在分析微机械热对流加速度传感器的工作原理及其有限元仿真的基础上,对传感器的瞬态响应进行了分析,建立了描述热对流加速度传感器频率响应特性的半定量的理论模型。结合有限元仿真结果,模型预测的热对流加速度传感器的频响与实际的传感器的频响较好地吻合。设计了传感器频率补偿电路,讨论了电路参数优化的途径,通过电路仿真方法得到优化的电路参数,仿真得到的补偿之后-3 dB带宽为112.5 Hz,构筑了传感器频率补偿电路并对补偿效果进行测试。结果表明:补偿之前-3 dB带宽为22.6 Hz,补偿之后实测-3 dB带宽拓展为106.0 Hz,与仿真结果基本吻合,成功将传感器频响扩展到100 Hz以上,满足应用的需要。
- 徐爱东张旭辉
- 关键词：加速度传感器热对流频率响应频率补偿
