福建省教育厅A类人文社科/科技研究项目(JA13059)
- 作品数：7 被引量：15H指数：3
- 相关作者：任志英高诚辉林建兴申丁陈为平更多>>
- 相关机构：福州大学福建福光数码科技有限公司更多>>
- 发文基金：福建省教育厅A类人文社科/科技研究项目国家自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 考虑氧化作用的CMP接触去除模型分析被引量：1
- 2016年
- 针对目前大多数化学机械抛光(CMP)材料去除模型没有考虑到氧化薄膜作用的现象,提出一种考虑氧化后的芯片与磨粒之间的接触模型,该模型的建立基于接触力学理论和接触微凸体由弹性变形向弹塑性变形及最终向完全塑性变形的转化过程,并将该模型与传统的塑性去除模型进行了对比分析。结果表明:低压CMP精抛过程中,磨粒在外载荷的作用与氧化后的芯片表面发生接触去除,且随着工作载荷的增大,芯片表面的压痕深度、卸载回弹量、最大应力和材料去除量也随之增大;当载荷为1200-4250n N时,芯片弹塑性接触去除率小于传统理想塑性接触去除率;当载荷约为1650n N时,相对误差达到最大值28%。因此,氧化后的芯片与磨粒并非简单的塑性去除,考虑氧化后的芯片去除将更有利于后续精确地统计实际CMP去除率,为进一步优化CMP工艺提供一定的理论基础。
- 蔡攀攀林有希任志英林春生
- 关键词：化学机械抛光弹塑性工作载荷
- 精密光学元件表面中频误差的提取研究
- 2015年
- 能否准确对精密光学元件表面评价势必影响着光学元件研制与生产,其中中频误差的提取逐渐显得重要。提出了利用双树复小波变换(DT-CWT)对精密光学元件表面提取信号进行多尺度分解,以定义的均方根波长确定其双树复小波分解次数,进行中频误差的提取与识别。此方法应用于精磨和镀膜的精密光学元件表面中,实验证实该方法不仅可以应用于一维信号的提取,同样也适合三维表面中频波段面形误差的提取。
- 林建兴高诚辉任志英
- 关键词：双树复小波
- 抛光过程游离单颗磨粒与光学元件间滚动摩擦接触分析被引量：4
- 2015年
- 针对游离单颗磨粒与光学元件滚动接触过程中摩擦、磨损机理分析的不足及如何有效控制滚动单颗磨粒对光学元件亚表面损伤的影响等问题,基于滚动接触理论,提出了一种具有分形特征表面的单颗磨粒与光学元件双粗糙面间的摩擦、磨损接触模型,并运用有限元仿真分析微观动态滚动的接触过程.通过对不同剪切强度下接触力、接触应力、磨粒角度及其对亚表面损伤的影响等分析,发现随着剪切强度的增强,磨粒与光学元件表面接触界面间的摩擦系数将减小,最佳的磨粒角度为105°～120°,并且分形特征的单颗磨粒对亚表面损伤的影响要大于球形特征单颗磨粒,这说明了研究分形特征游离单颗磨粒滚动接触的必要性和重要性,为更加深刻了解滚动接触过程的摩擦机理提供了借鉴意义.
- 陈为平高诚辉任志英林春生
- 关键词：有限元分析
- 复合评定法在三维粗糙表面评定中的应用被引量：3
- 2014年
- 提出一种将双树复小波与分形理论相结合的复合评定方法。即利用双树复小波近似的平移不变性和方向性好等优点，将信号分解成更为细腻的低频和高频信号，同时根据多尺度下信号分形维数的不变性，利用图像灰度值自相关求得高低频信号的分形维数，通过计算高低频信号分形维数之间的差值（即分形维数距）来确定双树复小波的分解尺度。仿真结果表明复合评定法可以较好地提取基准面，且分形维数距确定分解层数的准确性通过均方根Sq值得到了验证；两个实例均说明，复合评定法可以很好地提取具有分形特征的纳米级三维粗糙表面基准或波纹度，为实际工程表面评定提供了可靠的理论基础。
- 任志英高诚辉林建兴申丁黄健萌
- 关键词：计量学双树复小波
- 磨粒表征研究进展及发展趋势被引量：2
- 2015年
- 磨粒是摩擦磨损过程中重要的信息载体和磨损机理的判断依据,对磨粒进行全面、有效的表征一直以来都是摩擦学中的重要课题之一.为此,分析了磨粒在当前摩擦副磨损和表面磨损中的应用及其参数表征,归纳了其在脆性材料中的表征方法,针对当前的研究成果及存在的不足,提出了有关磨粒研究的今后发展方向.
- 陈为平高诚辉任志英
- 关键词：磨粒摩擦副磨损
- 基于双树复小波变换的三维粗糙表面评定方法研究被引量：6
- 2014年
- 针对目前用于提取三维粗糙表面基准面的第一和第二代小波存在的平移变动性与方向性差等缺点,以及最优小波基的选取和小波分解次数的确定等难点,提出将第三代小波变换——双树复小波变换(DT-CWT)用于三维粗糙表面的评定。通过比较三代小波实际重构图像以及仿真三维粗糙表面的误差和最大重构误差,得出了DT-CWT最优的结论;采用频带能量法确定DT-CWT的分解次数,并用仿真三维表面表征参数均方差S来验证得出的分解次数的正确性。最后用DT-CWT对具有分形特征的三维非平稳随机粗糙表面进行基准面的提取,结果验证了所提出方法的有效性。
- 任志英高诚辉林建兴申丁
- 关键词：双树复小波变换
- 基于高斯逼近的广义B样条平滑滤波快速算法
- 2014年
- 将添加了速度项s(xi)xi的平滑变分公式引入广义B样条滤波器,通过速度项αs(xi)αxi来增加数字滤波器传输特性对参数t1,t2的敏感性,推导出一个小尺度且能够快速逼近高斯滤波的平滑数字滤波器,并且讨论在不同截止角频率ωc下文中算法与标准高斯滤波器的逼近程度。最后对一个长度为19 000的实测轮廓数据进行滤波,实验结果表明:该滤波器一定程度上抑制了传统高斯滤波边界畸变的缺陷,且响应时间短,整个过程耗时1.6ms,仅为传统高斯滤波的1/40,为工程表面滤波提供了一种新方法。
- 申丁高诚辉任志英
- 关键词：高斯滤波
