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重庆市教委科研基金(0408l0)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
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马勇
殷胜东
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重庆师范大学
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年份
1篇
2006
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ZAO透明导电薄膜的制备及性质
被引量:3
2006年
ZAO(ZnO:Al)透明导电薄膜是一种具有高的载离子浓度和宽禁带的半导体氧化物,电学和光学性能优异。极具应用前景。本文介绍了ZAO薄膜的制备现状、特性、磁控溅射参数对其电学和光学性质的影响以及今后研究的方向。
殷胜东
马勇
关键词:
ZAO薄膜
电学性能
光学性能
磁控溅射
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