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重庆市教委科研基金(0408l0)

作品数:1 被引量:3H指数:1
相关作者:马勇殷胜东更多>>
相关机构:重庆师范大学更多>>
发文基金:重庆市教委科研基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电学性能
  • 1篇溅射
  • 1篇光学
  • 1篇光学性
  • 1篇光学性能
  • 1篇ZAO薄膜
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇重庆师范大学

作者

  • 1篇殷胜东
  • 1篇马勇

传媒

  • 1篇中国材料科技...

年份

  • 1篇2006
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
ZAO透明导电薄膜的制备及性质被引量:3
2006年
ZAO(ZnO:Al)透明导电薄膜是一种具有高的载离子浓度和宽禁带的半导体氧化物,电学和光学性能优异。极具应用前景。本文介绍了ZAO薄膜的制备现状、特性、磁控溅射参数对其电学和光学性质的影响以及今后研究的方向。
殷胜东马勇
关键词:ZAO薄膜电学性能光学性能磁控溅射
共1页<1>
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