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国家自然科学基金(50827501)

作品数:3 被引量:12H指数:1
相关作者:陈本永严利平杨涛杨万福张萍更多>>
相关机构:浙江理工大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇激光
  • 2篇激光干涉
  • 2篇合成波长
  • 2篇波长
  • 1篇信号
  • 1篇信号处理
  • 1篇四象限探测器
  • 1篇探测器
  • 1篇准直
  • 1篇激光干涉仪
  • 1篇激光频率
  • 1篇光干涉仪
  • 1篇光频率
  • 1篇干涉仪
  • 1篇CPLD
  • 1篇波长计
  • 1篇测量技术

机构

  • 3篇浙江理工大学

作者

  • 3篇严利平
  • 3篇陈本永
  • 2篇杨涛
  • 1篇姚喜国
  • 1篇魏若飞
  • 1篇张萍
  • 1篇杨万福

传媒

  • 2篇浙江理工大学...
  • 1篇激光杂志

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
基于CPLD的激光合成波长干涉信号处理方法被引量:1
2010年
介绍了激光合成波长干涉纳米位移测量的原理,设计了基于复杂可编程逻辑器件(CPLD)的激光合成波长干涉纳米位移测量信号处理系统,包括信号前置处理电路的设计和CPLD信号处理模块的设计。采用Visual Basic自带的MSComm控件实现了PC机与CPLD之间的通信,对实验过程进行了实时监控。在恒温恒湿条件下,分别以5nm和10nm为步长进行了位移测量实验,实验结果表明:在测量镜移动0-200nm范围内,测量结果线性相关系数分别为0.9991和0.9998,标准偏差分别为1.85nm和2.54nm,验证了所设计的信号处理系统能够实现纳米级位移测量精度的要求,具有较高的可靠性和实用性。
张萍严利平杨涛陈本永
关键词:激光干涉合成波长CPLD信号处理
激光频率(波长)测量技术研究现状及发展被引量:10
2009年
介绍了激光频率及波长的测量方法和当前发展动态,指出了每种测量方法的测量原理及测量不确定度,比较了各种测量方法的优缺点。提出了一种新的基于激光频率(波长)测量方法,该方法具有结构简单、易于实现、高精度等优点。
陈本永杨万福严利平
关键词:波长计
激光合成波长干涉仪的准直方法研究被引量:1
2011年
对激光合成波长干涉仪的准直方法进行研究。提出采用四象限探测器实现激光合成波长干涉仪的准直方法,描述激光合成波长干涉仪的准直原理与信号处理方法;对参考角锥棱镜进行准直测量实验,实验结果表明:在x方向所测数据的标准偏差从7.038 mV减小到1.6 mV,在z方向所测数据的标准偏差从30.118 mV减小到1.119 mV;对测量角锥棱镜进行准直测量实验,实验结果表明:在x方向所测数据的标准偏差从3.204 9 mV减小到1.202 mV,在y方向所测数据的标准偏差从2.831 231 mV减小到0.673 mV。验证了所用准直方法的可行性和实用性。
魏若飞严利平姚喜国杨涛陈本永
关键词:激光干涉仪准直四象限探测器
共1页<1>
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