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教育部留学回国人员科研启动基金(2013R10066)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：钱飞富雅琼谢敏孙坚许素安更多>>
相关机构：中国计量学院更多>>
发文基金：浙江省“钱江人才计划”教育部留学回国人员科研启动基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇定位控制
  • 1篇误差分析
  • 1篇差分

机构

  • 1篇中国计量学院

作者

  • 1篇黄艳岩
  • 1篇陈乐
  • 1篇许素安
  • 1篇孙坚
  • 1篇谢敏
  • 1篇富雅琼
  • 1篇钱飞

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
激光偏振干涉纳米定位系统的设计与实验研究被引量：2
2013年
为适应工业发展和计量界对精密定位提出的越来越高的要求,提出了基于偏振激光干涉技术的纳米定位方法。在该干涉测长系统中,用偏振计取代传统单频激光干涉仪的光电传感器并配置偏振分光元件、起偏镜等,可将干涉仪出射光的干涉条纹相位细分为36 000份,使用波长为633 nm的激光源,可将理论测量分辨率提高到10 pm。将完成的偏振干涉测长系统与商用SIOS干涉仪的实验测量结果做了比对。对完成的实验系统的各误差源做了实验研究,得到量化值。经不确定度评估计算,在标准实验室环境条件下,对于微米级行程的位移,其位置测量不确定度小于1.4 nm。该方法可应用于纳米定位的各个领域。
许素安钱飞谢敏黄艳岩富雅琼陈乐孙坚
关键词：定位控制误差分析
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