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国家自然科学基金(60277031)
作品数:
1
被引量:3
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相关作者:
郜小勇
刘绪伟
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刘绪伟
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郜小勇
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人工晶体学报
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2006
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蓝宝石衬底上GaN薄膜的结构和光学特性表征
被引量:3
2006年
采用低压金属有机化学气相沉积(LPMOCVD)法,成功地在(0001)晶向的蓝宝石(A l2O3)衬底上制备了高质量的GaN薄膜。并利用X射线衍射(XRD)谱和椭圆偏振光谱(SE)对其结构和光学特性作了表征。XRD谱中,在34.5°和72.9°附近出现了两个尖锐的衍射峰,分析表明这两个衍射峰分别对应纤锌矿(W urtzite)结构GaN薄膜的(0002)和(0004)晶向。其中GaN(0002)晶向衍射峰的半高宽(FWHM)很窄,只有0.1°左右,并且GaN(0004)晶向衍射峰强度很强,二者均证实了采用LPMOCVD法制备的GaN薄膜具有高的质量。在介电函数和反射谱中,GaN高的透明性(<3.44 eV)诱导了强的干涉振荡。室温下拟合出的表征带间跃迁的光学带隙约为3.44 eV。
郜小勇
赵剑涛
刘绪伟
关键词:
氮化镓
椭圆偏振光谱
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