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国家自然科学基金(60277031)

作品数:1 被引量:3H指数:1
相关作者:郜小勇刘绪伟赵剑涛更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氮化镓
  • 1篇圆偏振
  • 1篇圆偏振光
  • 1篇偏振
  • 1篇偏振光
  • 1篇偏振光谱
  • 1篇椭圆偏振
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  • 1篇光谱
  • 1篇光学
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  • 1篇GAN薄膜
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇郑州大学

作者

  • 1篇赵剑涛
  • 1篇刘绪伟
  • 1篇郜小勇

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2006
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
蓝宝石衬底上GaN薄膜的结构和光学特性表征被引量:3
2006年
采用低压金属有机化学气相沉积(LPMOCVD)法,成功地在(0001)晶向的蓝宝石(A l2O3)衬底上制备了高质量的GaN薄膜。并利用X射线衍射(XRD)谱和椭圆偏振光谱(SE)对其结构和光学特性作了表征。XRD谱中,在34.5°和72.9°附近出现了两个尖锐的衍射峰,分析表明这两个衍射峰分别对应纤锌矿(W urtzite)结构GaN薄膜的(0002)和(0004)晶向。其中GaN(0002)晶向衍射峰的半高宽(FWHM)很窄,只有0.1°左右,并且GaN(0004)晶向衍射峰强度很强,二者均证实了采用LPMOCVD法制备的GaN薄膜具有高的质量。在介电函数和反射谱中,GaN高的透明性(<3.44 eV)诱导了强的干涉振荡。室温下拟合出的表征带间跃迁的光学带隙约为3.44 eV。
郜小勇赵剑涛刘绪伟
关键词:氮化镓椭圆偏振光谱
共1页<1>
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