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贵州省自然科学基金(J[2011]2323)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：谢泉张晋敏陈茜肖清泉沈向前更多>>
相关机构：贵州大学更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家自然科学基金贵州省科技攻关计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇导体
  • 1篇低真空
  • 1篇溅射
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体薄膜
  • 1篇SI衬底
  • 1篇MG2SI
  • 1篇MG_2SI
  • 1篇衬底
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇贵州大学

作者

  • 1篇沈向前
  • 1篇肖清泉
  • 1篇陈茜
  • 1篇张晋敏
  • 1篇谢泉

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Si衬底上低真空热处理制备单一相Mg_2Si半导体薄膜被引量：4
2013年
采用磁控溅射沉积方法制备Mg2Si半导体薄膜。首先在Si衬底上沉积Mg膜,随后低真空热处理。采用X射线衍射、扫描电镜、拉曼光谱对Mg2Si薄膜的结构进行表征。研究了在低真空(10-1～10-2Pa)条件下热处理温度(350～550℃)和热处理时间(3～7h)对Mg2Si薄膜形成的影响。结果表明,低真空热处理条件下制备了单一相Mg2Si半导体薄膜,400～550℃热处理4～5h是最佳的热处理条件。在拉曼谱中256和690cm-1处观察到两个散射峰,这与Mg2Si的拉曼特征峰峰位一致。
肖清泉谢泉沈向前张晋敏陈茜
关键词：半导体薄膜MG2SI磁控溅射
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