您的位置： 专家智库 > >

国家部委预研基金(8173)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：柴常春杨银堂李跃进更多>>
相关机构：西安电子科技大学更多>>
发文基金：国家部委预研基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氧化硅
  • 1篇二氧化硅
  • 1篇6H-SIC

机构

  • 1篇西安电子科技...

作者

  • 1篇李跃进
  • 1篇杨银堂
  • 1篇柴常春

传媒

  • 1篇西安电子科技...

年份

  • 1篇2000
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
6H-SiC材料的氧化特性被引量：6
2000年
研究了 10 0 0～ 12 0 0℃温度下干氧和湿氧中 6H SiC材料的氧化特性 ,讨论了氧化层厚度与温度、时间、气氛的关系 .实验结果表明 ,在相同的生长条件下 ,6H SiC材料的氧化层厚度远小于Si的氧化层厚度 ,且遵循相同的生长规律 .
李跃进杨银堂柴常春任昌河
关键词：6H-SIC二氧化硅
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0