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安徽省高校省级自然科学研究项目(KJ2010B189)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：陈香存潘国强刘忠良康朝阳徐彭寿更多>>
相关机构：淮北师范大学中国科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金安徽省高校省级自然科学研究项目安徽省自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇蓝宝
  • 2篇蓝宝石
  • 2篇蓝宝石衬底
  • 2篇衬底
  • 1篇碳化硅
  • 1篇碳化硅薄膜
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇SIC/AL
  • 1篇SIC薄膜
  • 1篇AL
  • 1篇SSMBE

机构

  • 2篇中国科学技术...
  • 2篇淮北师范大学

作者

  • 2篇唐军
  • 2篇徐彭寿
  • 2篇康朝阳
  • 2篇刘忠良
  • 2篇潘国强
  • 2篇陈香存

传媒

  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
SiC/Al_2O_3界面结构的同步辐射X射线掠入射衍射研究
2012年
采用固源分子束外延技术,以Al2O3为衬底,在1100℃下制备SiC薄膜。利用同步辐射X射线掠入射(GID)实验技术对生长的样品的界面结构进行了研究。结果表明,薄膜面内存在压应变,同时发现薄膜晶体质量在远离薄膜和衬底界面区会逐渐变好。GID和X射线衍射的摇摆曲线结果表明薄膜中镶嵌块的扭转大于倾斜,说明SiC薄膜在垂直方向的晶格排列要比面内更加有序。
刘忠良康朝阳唐军陈香存徐彭寿潘国强
关键词：碳化硅薄膜蓝宝石衬底
α-Al_2O_3衬底上6H-SiC薄膜的SSMBE外延生长被引量：2
2010年
采用固源分子束外延(SSMBE)技术,在α-Al2O3(0001)衬底上直接制备出了SiC薄膜。利用反射式高能电子衍射(RHEED)、Raman光谱、X射线扫描、傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、X射线衍射(XRD)等实验技术,对生长的样品的结构和结晶质量进行了表征。结果表明:在蓝宝石衬底上生长出了结晶性能良好的6H-SiC薄膜,且薄膜中存在较小的压应力,这种压应力是由薄膜与衬底之间热膨胀系数的差异所致。
康朝阳刘忠良唐军陈香存徐彭寿潘国强
关键词：SIC薄膜蓝宝石衬底
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