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上海市科委纳米专项基金(0952nm06400)
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
相关作者:
钱超峰
李海华
王庆康
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相关机构:
上海交通大学
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发文基金:
上海市科委纳米专项基金
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2011
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超陷光黑硅结构研究
被引量:7
2011年
研究了超陷光黑硅表面圆锥阵列结构的设计。将圆锥结构分为五层,利用等效媒质理论进行了参数设计。考虑了硅材料折射率随波长的变化,用严格耦合波理论对不同入射角,圆锥阵列结构高度以及占空比时的反射率进行了计算分析。发现,圆锥阵列超陷光结构的周期为135nm,高度为480nm时,在0°~60°入射角范围内,对波长为300~1200nm的入射光的反射率都小于5%。
钱超峰
王庆康
李海华
关键词:
衍射
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