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国家自然科学基金(60227102)

作品数：2 被引量：0H指数：0
相关作者：李萍林一平周开邻胡问国梁竹关更多>>
相关机构：云南大学昆明物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信

主题

  • 2篇钝化层
  • 2篇内窥透视
  • 2篇SBD
  • 2篇IC
  • 1篇势垒
  • 1篇微结构
  • 1篇肖特基
  • 1篇肖特基势垒
  • 1篇肖特基势垒二...
  • 1篇硅化
  • 1篇二极管
  • 1篇SI
  • 1篇SI3N4
  • 1篇SIO
  • 1篇SIO2
  • 1篇钯

机构

  • 4篇昆明物理研究...
  • 4篇云南大学

作者

  • 4篇胡问国
  • 2篇王建
  • 2篇肖玲
  • 2篇李亚文
  • 2篇梁竹关
  • 2篇周开邻
  • 2篇林一平
  • 2篇李萍
  • 1篇兰得春
  • 1篇徐晓华

传媒

  • 2篇电子显微学报
  • 1篇2006年全...

年份

  • 4篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
应用透表法透过Si3N4+SiO2钝化层内窥透视成品IC的研究
本文介绍了一种新的能透过成品集成电路表面 SiN+SiO钝化层无损显微内窥透视检测其下集成电路的微结构和缺陷的方法。制作集成电路硅片的尺寸不能任意地扩大,为提高集成电路的集成密度,一方面是缩小集成电路中器件的尺寸,采用微...
胡问国肖玲林一平梁竹关李亚文李萍兰得春王建周开邻Rau E I
文献传递
用透表法研究硅化钯二极管SBD与EBIC法的比较
应用透表法研究硅化钯-P 型硅肖特基势垒二极管(SBD)比应用 EBIC 法研究它的 p-n 结特性,尤其结深时更有明显优势：样品不需要特殊制作;无损检测方法,容易操作和使用;获得的图像十分清晰。在研制和生产半导体材料、...
胡问国肖玲林一平梁竹关李亚文李萍徐晓华王建周开邻Rau E I
文献传递
用透表法研究硅化钯二极管SBD与EBIC法的比较
2006年
胡问国肖玲林一平梁竹关李亚文李萍徐晓华王建周开邻Rau E I
关键词：肖特基势垒二极管硅化SBD钯
应用透表法透过Si_3N_4+SiO_2钝化层内窥透视成品IC的研究
2006年
胡问国肖玲林一平梁竹关李亚文李萍兰得春王建周开邻Rau E I
关键词：钝化层IC微结构
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