国防基础科研计划(k1401060130)
- 作品数：3 被引量：15H指数：2
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- MEMS器件微装配系统的设计与研制
- 在分析微装配特点的基础上,讨论了微装配系统的功能需求和组成。提出了一种新型MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机关键技术模块的研制方案。以微型光谱分析仪极板对准为示范目标开展了实验研究,结果表明该系统适用于典型M...
- 陈立国孙立宁荣伟彬谢晖
- 关键词：微装配MEMS显微视觉
- 文献传递
- MEMS器件微装配系统的设计与研制被引量：3
- 2005年
- 在分析微装配特点的基础上,讨论了微装配系统的功能需求和组成。提出了一种新型MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机关键技术模块的研制方案。以微型光谱分析仪极板对准为示范目标开展了实验研究,结果表明该系统适用于典型MEMS芯片的微对准和封装研究。
- 陈立国孙立宁荣伟彬谢晖
- 关键词：微装配MEMS显微视觉
- 基于显微视觉的MEMS微装配系统研究被引量：11
- 2005年
- 提出一种基于显微视觉伺服控制的MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机及关键技术模块的研制方案.以微型光谱分析仪极板粘接为示范应用开展了实验研究,表明该系统适用于典型MEMS芯片的微对准和封装研究.
- 陈立国孙立宁边信黔荣伟彬
- 关键词：微装配微机电系统显微视觉
- 面向微操作的组合式微夹持器被引量：2
- 2006年
- 基于宏微结合的设计思想,提出一种组合式微夹持器结构.采用微直线电机机构实现毫米级的宏运动,采用双晶片压电悬梁机构实现微米级的微运动.介绍组合式微夹持器的组成原理并对压电悬梁形变特性进行了有限元分析.在此基础上,开发微夹持器宏微控制系统,实现了微位移闭环控制.测试实验表明,该微夹持器具有结构紧凑、操作空间大、精度高的特点.
- 陈立国荣伟彬孙立宁
- 关键词：微操作微夹持器微直线电机
