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国家教育部博士点基金(20100032120029)

作品数:11 被引量:29H指数:4
相关作者:胡明梁继然后顺保陈涛梁秀琴更多>>
相关机构:天津大学中国科学院天津理工大学更多>>
发文基金:国家教育部博士点基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>

文献类型

  • 11篇中文期刊文章

领域

  • 8篇理学
  • 2篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 7篇氧化钒薄膜
  • 5篇相变特性
  • 4篇氧化钒
  • 4篇溅射
  • 3篇磁控
  • 3篇磁控溅射
  • 3篇THZ
  • 2篇电阻
  • 2篇调制
  • 2篇射频磁控
  • 2篇太赫兹
  • 2篇光谱
  • 2篇赫兹
  • 2篇二氧化钒
  • 2篇VO2薄膜
  • 2篇VOX
  • 1篇电阻开关
  • 1篇氧化法
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇射频磁控溅射

机构

  • 8篇天津大学
  • 3篇中国科学院
  • 1篇天津理工大学

作者

  • 8篇胡明
  • 6篇梁继然
  • 4篇后顺保
  • 3篇吕志军
  • 3篇阚强
  • 3篇陈弘达
  • 3篇陈涛
  • 3篇梁秀琴
  • 2篇高旺
  • 2篇武斌
  • 2篇韦晓莹
  • 1篇夏晓旭
  • 1篇王芳
  • 1篇张楷亮
  • 1篇刘凯
  • 1篇栗力

传媒

  • 3篇物理学报
  • 2篇光电子.激光
  • 2篇Chines...
  • 1篇材料工程
  • 1篇天津大学学报
  • 1篇Rare M...
  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 2篇2014
  • 3篇2013
  • 2篇2012
  • 4篇2011
11 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
氧化钒薄膜太赫兹波段频率特性研究被引量:4
2011年
利用直流对靶磁控溅射镀膜法,在Si衬底上制备出在太赫兹(THz)波段具有开关性能的氧化钒(VOx)薄膜。用X射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)方法对VOx薄膜的组份和形貌进行表征。利用THz时域频谱系统(THz-TDS)对VOx薄膜的光致相变性能进行测试。实验表明,VOx薄膜在波长532 nm连续激光照射下具有明显的光致相变特性,且随着薄膜中V元素总体价态的升高,THz透射率达到峰值时的频率逐渐降低。
陈涛胡明梁继然后顺保吕志军栗力
关键词:频率特性
射频磁控溅射纳米二氧化钒薄膜的电致相变特性被引量:2
2012年
采用射频磁控溅射方法和热处理工艺制备了二氧化钒(VO2)薄膜,并制作了金属钨/VO2/金属钨三明治结构,通过改变金属钨/VO2/金属钨三明治结构中VO2薄膜与金属钨电极的接触面积,研究了VO2薄膜的电致相变特性.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、四探针和半导体参数测试仪对VO2薄膜的结晶取向、表面形貌、方块电阻和I-V特性进行了测试.实验结果表明,所制备的VO2薄膜为具有热致相变特性的单一组分VO2纳米薄膜,在热激励下,薄膜的方块电阻相变幅度达到2个数量级;在电压的激励下,VO2薄膜与金属钨的接触面积为12μm×12μm时,电流发生跳变的阈值电压为9.4 V,随着接触面积的减小,阈值电压也逐渐降低.
梁继然胡明阚强后顺保梁秀琴陈弘达
关键词:VO2薄膜射频磁控溅射
Analysis of the resistive switching behaviors of vanadium oxide thin film被引量:1
2013年
We demonstrate the polarization of resistive switching for a Cu/VOx/Cu memory cell.The switching behaviors of Cu/VOx/Cu cell are tested by using a semiconductor device analyzer(Agilent B1500A),and the relative micro-analysis of I-V characteristics of VOx/Cu is characterized by using a conductive atomic force microscope(CAFM).The I-V test results indicate that both the forming and the reversible resistive switching between low resistance state(LRS) and high resistance state(HRS) can be observed under either positive or negative sweep.The CAFM images for LRS and HRS directly exhibit evidence for the formation and rupture of filaments based on positive or negative voltage.The Cu/VOx/Cu sandwiched structure exhibits reversible resistive switching behavior and shows potential applications in the next generation of nonvolatile memory.
韦晓莹胡明张楷亮王芳赵金石苗银萍
关键词:薄膜电阻氧化钒原子力显微镜极化电阻
射频磁控溅射功率对氧化钒薄膜相变特性的影响被引量:3
2011年
采用射频磁控溅射方法,结合氮气氛退火处理工艺制备二氧化钒薄膜,研究溅射功率对氧化钒薄膜电阻温度性能的影响.利用X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对薄膜的结晶结构和成分进行了分析,利用四探针测试仪测试了样品的电阻温度特性.实验结果表明,在保持优化氧分压和热处理工艺条件不变的情况下,氧化钒薄膜的方块电阻随溅射功率的升高逐渐下降;经450,℃热处理后,氧化钒薄膜出现了明显的半导体-金属相变特性,相变的幅度随溅射功率的增加而逐渐下降;在溅射功率为150,W时,获得了相变幅度接近3个数量级的高性能二氧化钒薄膜.
梁继然胡明梁秀琴阚强陈涛陈弘达
关键词:二氧化钒溅射功率磁控溅射
Preparation and modification of VO_2 thin film on R-sapphire substrate by rapid thermal process
2014年
The VO2 thin film with high performance of metal–insulator transition(MIT) is prepared on R-sapphire substrate for the first time by magnetron sputtering with rapid thermal process(RTP). The electrical characteristic and THz transmittance of MIT in VO2film are studied by four-point probe method and THz time domain spectrum(THz-TDS). X-ray diffraction(XRD), X-ray photoelectron spectroscopy(XPS), atomic force microscopy(AFM), and search engine marketing(SEM)are employed to analyze the crystalline structure, valence state, surface morphology of the film. Results indicate that the properties of VO2film which is oxidized from the metal vanadium film in oxygen atmosphere are improved with a followup RTP modification in nitrogen atmosphere. The crystallization and components of VO2film are improved and the film becomes compact and uniform. A better phase transition performance is shown that the resistance changes nearly 3 orders of magnitude with a 2-?C hysteresis width and the THz transmittances are reduced by 64% and 60% in thermal and optical excitation respectively.
朱乃伟胡明夏晓旭韦晓莹梁继然
关键词:VO2薄膜蓝宝石衬底太赫兹时域光谱技术THZ-TDS
Infrared transition properties of vanadium dioxide thin films across semiconductor-metal transition被引量:4
2011年
Vanadium dioxide thin films were fabricated through annealing vanadium oxide thin films deposited by dual ion beam sputtering. X-ray diffraction (XRD), atom force microscopy (AFM), and Fourier transform infrared spectrum (FTIR) were employed to measure the crystalline structure, surface morphology, and infrared optical transmittance. The phase transition properties were characterized by transmittance. The results show that the annealed vanadium oxide thin film is composed of monoclinic VO2, with preferred orientation of (011). The maximum of transmittance change is beyond 65% as the temperature increases from 20 to 80 C. The reversible changes in optical transmittance against temperature were observed. The change rate of transmittance at short wavelength is higher than that at long wavelength at the same temperature across semiconductor-metal phase transition. This phenomenon was discussed using diffraction effect.
LIANG JiranHU MingKAN QiangLIANG XiuqinWANG XiaodongLI GuikeCHEN Hongda
关键词:傅立叶变换红外光谱仪二氧化钒薄膜离子束溅射沉积
氧化钒薄膜的制备及其在光激励下对太赫兹波的调制被引量:2
2014年
采用磁控溅射法在蓝宝石基底上制备金属钒薄膜,然后在O2中快速热处理获得具有相变特性的VOx薄膜。实验对比了不同的热处理温度和热处理时间对薄膜性能的影响,薄膜的结晶状况用X射线衍射(XRD)进行分析;利用THz时域频谱系统,观测薄膜在不同激励光功率下的相变特性及其对THz波的调制作用。结果表明,在570℃条件下快速热处理60s所制得的VOx薄膜性能最佳,薄膜对THz波透过性最好,光激励后对THz波的调制作用最大,调制幅度达到83.9%,且引发相变的功率阈值低。
夏晓旭胡明朱乃伟梁继然韦晓莹
关键词:VOX光激励
快速热处理制备相变氧化钒薄膜及其特性研究被引量:3
2012年
采用直流对靶磁控溅射在Si<100>基底上沉积金属V薄膜,然后分别在纯氧气环境和纯氮气环境下进行快速热处理制备具有金属-半导体相变特性的氧化钒(VO_X)薄膜,热处理条件分别为纯氧气环境下430℃/40 s,450℃/40 s,470℃/40 s,450℃/30 s,450℃/50 s,纯氮气环境下500℃/15 s.用X射线衍射仪、X射线光电子能谱、原子力显微镜和扫描电子显微镜对薄膜的结晶结构、钒的价态和组分以及微观形貌进行分析.利用四探针薄膜电阻测量方法和THz时域频谱技术分析薄膜的电学特性和光学特性.结果表明:金属V薄膜经过纯氧气环境450℃/40 s快速热处理后形成了具有低相变特性的VO_X薄膜,升温前后薄膜方块电阻变化幅度达到两个数量级,THz透射强度变化幅度较小.为了提高薄膜的相变特性,对制备的VO_X薄膜采用纯氮气环境500℃/15 s快速热处理,薄膜的相变特性有了明显提升,相变前后方块电阻变化达到3个数量级,THz透射强度变化达到56.33%.
武斌胡明后顺保吕志军高旺梁继然
晶粒尺寸对氧化钒薄膜电学与光学相变特性的影响被引量:6
2011年
采用直流对靶磁控溅射方法制备氧化钒薄膜,通过改变热处理温度获得了具有不同晶粒尺寸的相变特性氧化钒薄膜,对氧化钒薄膜相变过程中电阻和红外光透射率随温度的突变性能进行研究。结果表明:经300℃和360℃热处理后,薄膜内二氧化钒原子分数达到40%,氧化钒薄膜具有绝缘体-金属相变特性,薄膜的晶粒尺寸分别为50nm和100nm;经360℃热处理后,氧化钒薄膜表面变得致密,晶粒之间出现了联并;电学和光学相变特性的表征结果表明,电学与光学相变温度随晶粒尺寸的增加而减小;电学相变持续的温度宽度为30℃,而光学相变持续的温度宽度仅为8℃,相变持续的温度宽度保持不变。
梁继然胡明阚强陈涛梁秀琴陈弘达
关键词:氧化钒薄膜晶粒尺寸
氧化钒薄膜的微结构及阻变特性研究被引量:5
2013年
采用射频反应溅射法于室温下在Cu/Ti/SiO2/Si基底上制备了氧化钒薄膜.X-射线衍射、X射线光电子能谱分析仪及原子力显微镜结果表明,室温下制备的氧化钒薄膜除微弱的V2O5(101)和V2O3(110)峰外,没有明显的结晶取向,是VO2,V2O5,V2O3及VO的混合相薄膜,且薄膜表面颗粒大小均匀,表面均方根粗糙度约为1nm.采用半导体参数分析仪对薄膜的电开关特性进行测试.结果表明薄膜具有较低的开关电压(VSet<1V,VReset<0.5V),并且具有稳定的可逆开关特性.薄膜从低阻态转变为高阻态的电流(IReset)随限流的增大而增大.通过高低阻态时I-V对数曲线的拟合(高阻态斜率>1,低阻态斜率=1),认为Cu离子在薄膜中扩散形成的导电细丝是该体系发生电阻转变的主要机制.
韦晓莹胡明张楷亮王芳刘凯
关键词:氧化钒薄膜电阻开关
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