国家自然科学基金(61107029)
- 作品数：5 被引量：9H指数：2
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- 2μm分辨DMD光刻系统镜头设计被引量：2
- 2015年
- 针对2μm分辨力的光刻,在以数字空间微反射器(DMD)为空间光调制器(SLM)的光刻系统中,采用一种新的非对称式结构组合,使用较少的透镜组成了一个高分辨力、大孔径的投影光刻镜头。利用ZEMAX光学设计软件对其进行了建模和优化,最终得到其全视场波像差小于λ/10,畸变小于0.02%,像方数值孔径NA=0.158,最小分辨力为2μm,近轴缩小倍率β=-0.217,其结果有效的减少了DMD栅格效应对空间数字掩模图形的影响,满足数字投影光刻光学系统的各项指标要求。最后,对设计结果进行了公差分析,在修改过少数几个默认公差后,采用Monte Carlo方法进行模拟装配,证明了这种新结构镜头加工和校装的可行性。
- 郭华周金运刘志涛雷亮
- 关键词：投影镜头光学设计
- 新型大面积PCB光刻投影物镜设计被引量：3
- 2013年
- 针对大面积且高密度PCB光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计了一种8片式光刻投影物镜。该物镜采用对称双高斯结构,放大倍率为-1,数值孔径NA=0.06,单次曝光面积Φ=80mm,具有优于7μm的分辨力和120μm的焦深。通过对该镜头进行公差分析,表明最紧公差为部分元件倾斜要小于0.017°。用MonteCarlo方法模拟了制造50组镜头的成像质量,得到在空间频率72line/mm处,90%的镜头的MTF>0.58,因此加工装配时能保证90%以上的成品率。
- 邓亚飞周金运雷亮冉坐周亚梅
- 关键词：光刻投影物镜
- 一种新型投影曝光调焦方法被引量：1
- 2013年
- 为研究大面积激光投影光刻的调焦,利用Zemax光学设计软件模拟离焦对光程差(OPD)和调制传递函数(MTF)的影响,分析二者对投影曝光图形质量的影响,给出系统最大的离焦量值。提出一种利用显微镜的调焦方法,分析此方法的调焦误差主要来自于显微镜景深,根据景深表达式和系统最大离焦量值,选择一款景深不大于系统最大离焦量的显微镜来构建调焦系统,并基于该调焦系统进行光刻实验。实验结果表明:利用该方法对投影成像光刻进行调焦,无论是否离焦,边缘视场与中心视场的MTF均有差异,分辨率也有差异,但这种差异不影响光刻图形的质量。
- 冉坐周金运雷亮周亚梅邓亚飞
- 关键词：投影光刻调制传递函数调焦
- 基于光纤和偏振图像融合的无透镜傅里叶变换数字全息被引量：2
- 2013年
- 设计并搭建基于光纤和偏振图像融合的无透镜傅里叶变换数字全息实验装置,利用电荷耦合元件(CCD)记录物光波振幅、相位及偏振信息,完成偏振图像融合和数字全息再现.实验结果表明:结合偏振图像融合技术的无透镜傅里叶变换数字全息能得到更为准确的数字全息图和再现像;基于光纤的无透镜傅里叶变换数字全息不仅能产生近似球面波,而且使物体到CCD的位置更自由.此外,偏振图像融合的方法和中值滤波器的使用,能有效地提高再现像的分辨率.
- 雷莎陈丽何贤飞胡义华雷亮
- 关键词：数字全息图像融合光纤傅里叶变换偏振中值滤波器
- 数字光刻缩微投影系统物镜的设计被引量：3
- 2013年
- 针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统,提出并设计了一种适用于0.7XGA型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构,得到数值孔径NA=0.1,放大倍率为-0.2558,分辨力达3.5μm,不受DMD栅格效应影响且达到衍射极限的缩微物镜。经过Zemax软件模拟得到其全视场光程差小于λ/5,145cycles/mm处的调制传递函数(MTF)大于0.58,充分说明该缩微物镜已经达到光刻物镜设计要求。利用Monte Carlo分析方法,模拟加工装配了100组镜头,设定空间频率为145cycles/mm时,90%的镜头FMTF>0.55,验证了加工装配实际可行。
- 刘海勇周金运雷亮刘丽霞刘志涛郭华
- 关键词：数字光刻光学设计
