福建省高校测试基金(JC200044)
- 作品数：3 被引量：8H指数：2
- 相关作者：邓光华周白杨姜华卢志红林梅更多>>
- 相关机构：福州大学中国人民解放军后勤工程学院更多>>
- 发文基金：福建省高校测试基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程理学更多>>
- 溅射方位对IBS沉积TbDy-Fe薄膜性质的影响被引量：5
- 2004年
- 本文采用铸造合金靶材和离子束溅射 (IBS)技术制备TbDy Fe超磁致伸缩薄膜 (GMFs) ,研究了不同溅射方位 (α角 )对冷基片成膜过程和薄膜性质的影响。结果表明 ,在给定的溅射角范围内 ,薄膜表面平整光滑 ,组织致密 ,膜厚均匀且与基片结合良好 ,膜的结构均为非晶态 ;成膜生长速率、膜层成份以及λ值随α角的改变均呈现规律性的变化 ,当α角为α6左右时 ,沉积速率最大 ;在α角为α5左右范围内 ,膜层的成份最接近于靶材成份 ;α角在α4附近时用Tam法试验测定在Hmax=0 5 7T下的磁伸值λ∥ 可达 970× 10 -6,在中低场强H =0 2 5T下 ,λ∥ 值达到 710× 10 -6。
- 周白杨卢志红林梅姜华邓光华
- 关键词：离子束溅射铸造合金靶材非晶态基片
- 磁控溅射SmFe_2 GMF的工艺及膜性能研究被引量：3
- 2003年
- 采用正交试验方法研究了磁控溅射的工艺因素:溅射功率、溅射气压、基片到靶材的距离等对SmFe2超磁致伸缩薄膜制备的影响;用SEM能谱仪研究了获得的SmFe2薄膜的成分;用小角度X射线掠射法研究了获得的SmFe2薄膜的结构;得到了磁控溅射制备SmFe2薄膜的优选工艺条件;并测量了该工艺条件下SmFe2GMF的磁致伸缩系数λ.
- 彭俊华周白杨邓光华王平周军
- 关键词：磁控溅射磁致伸缩
- 磁弹性型磁致伸缩多层膜的研究与开发
- 2006年
- 本文介绍了近年来对磁弹性型磁致伸缩多层膜的研究与开发,论述了研究过程中所探索出的一些多层膜的制备理论;探讨了包括多层膜的靶材选择、单层膜厚、层数、组织结构和真空热处理对其性能的影响。
- 陈鸿彬周白杨姜华邓光华
- 关键词：多层膜
