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江苏省科技支撑计划项目(BE2009123)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：沈思国潘海彬范真凌智勇程广贵更多>>
相关机构：江苏工业学院江苏大学更多>>
发文基金：江苏省科技支撑计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇性能研究
  • 1篇压力传感器
  • 1篇微压
  • 1篇力传感器
  • 1篇纳米硅
  • 1篇纳米硅薄膜
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器设计

机构

  • 1篇江苏大学
  • 1篇江苏工业学院

作者

  • 1篇丁建宁
  • 1篇程广贵
  • 1篇凌智勇
  • 1篇范真
  • 1篇潘海彬
  • 1篇沈思国

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
纳米硅薄膜超微压力传感器设计与性能研究被引量：3
2010年
利用纳米硅薄膜良好的力学与电学特性,设计出超微压压力传感器芯片结构:双岛—梁—膜结构。利用ANSYS进行了静力分析、模态分析、谐反应分析、瞬态分析,结果表明:该结构具有灵敏度高、线性度好、动态响应快等优点。
沈思国丁建宁潘海彬凌智勇程广贵范真
关键词：纳米硅薄膜
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