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浙江省重点科技计划(2005C11015)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：林惠旺张兆华刘理天张艳红更多>>
相关机构：清华大学更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇力敏传感器
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇晶体管
  • 1篇功耗
  • 1篇硅基
  • 1篇感器
  • 1篇MOS
  • 1篇MOS晶体管
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇张艳红
  • 1篇刘理天
  • 1篇张兆华
  • 1篇林惠旺

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新型硅基MOS力敏传感器的设计与制作
2008年
随着汽车、航天、生物等领域对力敏传感器的越来越巨大的市场需求,力敏传感器再次成为研究的热点。压阻式力敏传感器由于其性能稳定、制作工艺简单、稳定性好且价格低成为商家的首选。研究表明,在应力作用下,MOS晶体管的源漏电流的大小会随着沟道区所受应力大小而变化,具有类似压敏电阻的力敏效应。基于MOS晶体管的这种力敏效应,采用晶体管和电阻构成压敏电桥,提出了一种新型的硅基MOS力敏传感器。该器件在与传统的压阻式力敏传感器相比,一方面继承了其制作工艺简单、稳定性和线性度好等优点,另一方面大幅提高了传感器灵敏度并降低了功耗,使得器件性能得到整体提高。
张艳红刘理天张兆华林惠旺
关键词：MOS晶体管灵敏度功耗
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