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江西省新余市自然科学基金(2008zrbxjj03)

作品数:1 被引量:1H指数:1
相关作者:柳碧清付淑英更多>>
相关机构:新余高等专科学校景德镇高等专科学校更多>>
发文基金:江西省新余市自然科学基金更多>>
相关领域:一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化钛
  • 1篇氮化钛薄膜
  • 1篇基底温度
  • 1篇溅射
  • 1篇反射率
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇新余高等专科...
  • 1篇景德镇高等专...

作者

  • 1篇付淑英
  • 1篇柳碧清

传媒

  • 1篇中国材料科技...

年份

  • 1篇2009
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
直流反应磁控溅射法制备氮化钛薄膜被引量:1
2009年
研究了采用直流反应磁控溅射法制备TiN薄膜的工艺条件。研究发现:在保持其它工艺参数不变的条件下,溅射的TiN薄膜在不同温度区域存在的物相不同,薄膜的主要成分是多晶立方相TiN,240℃附近是薄膜择优取向由(111)向(200)转变的临界点。随着基底温度升高,薄膜表面粗糙度先变小后变大,沉积最佳基底温度值是330℃,该温度下薄膜的粗糙度最小,膜层致密均匀,没有大尺寸缺陷且光洁度好。
付淑英柳碧清胡祥青
关键词:氮化钛薄膜磁控溅射基底温度反射率
共1页<1>
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