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国家自然科学基金(20778028)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：白敏菂冷宏李超群更多>>
相关机构：大连大学大连博羽环保技术开发有限公司大连海事大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电离放电
  • 1篇性价比
  • 1篇强电离放电
  • 1篇清洗技术
  • 1篇硅片
  • 1篇硅片清洗
  • 1篇臭氧

机构

  • 1篇大连海事大学
  • 1篇大连大学
  • 1篇大连博羽环保...

作者

  • 1篇李超群
  • 1篇冷宏
  • 1篇白敏菂

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
面向硅片清洗技术的高浓度臭氧产生装置
2011年
近来特大规模集成电路研发与生产的快速进展,硅片表面清洗至关重要。因此大连海事大学环境工程研究所采用强电离放电方法(折合电场强度达到380 Td,电子具有平均能量达到9 eV)研发成功国内首台具有知识产权dhO3g型系列高浓度臭氧产生器,其臭氧浓度达到240 mg/L。该装置具有自动化水平高,能耗低、体积小、高性价比等特点,并阐述了该装置的技术先进性及其技术指标。
白敏菂冷宏李超群
关键词：臭氧性价比
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