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国家自然科学基金(10675044)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：童洪辉赵嘉学王军生戴彬更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇中频磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇沉积速率
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇中国核工业集...

作者

  • 1篇戴彬
  • 1篇王军生
  • 1篇赵嘉学
  • 1篇童洪辉

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电源工作模式对中频磁控溅射沉积速率的影响被引量：4
2009年
在中频孪生靶磁控溅射实验装置上,研究了电源恒压、恒流、恒功率工作模式下沉积速率与气压、电参数之间的关系,得出不同工作模式下电压、电流、功率及频率、占空比对沉积速率的影响:恒流模式下沉积速率稳定性最好,恒压最差;气压变化时,恒功率、恒流工作模式有稳定沉积速率作用;恒流模式下,沉积速率随占空比升高而减小,随频率升高而增大。
王军生童洪辉赵嘉学戴彬
关键词：磁控溅射沉积速率
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