国家教育部博士点基金(20100072120037)
- 作品数：6 被引量：16H指数：3
- 相关作者：程鑫彬王占山焦宏飞马彬沈正祥更多>>
- 相关机构：同济大学教育部天津津航技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金上海市教育发展基金会晨光计划项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 基于等效层法分析对称性倍频分束镜的半波孔被引量：3
- 2012年
- 半波孔问题严重影响了倍频分束镜在高功率激光系统中的应用。为研究半波孔的产生机理,分别模拟了由高、低折射率膜层厚度失配和膜料色散失配引起的1/4波长对称规整膜系的半波孔。基于等效层理论,在Matlab平台上计算膜系的等效折射率E,绘出其对应的反射率极值包络曲线。通过研究对称膜系的等效折射率、反射率光谱和反射率包络之间的关系,从原理上分析了半波孔的大小、位置和变化趋势等特点。结果表明,膜层的厚度失配使对称膜系的等效折射率在光谱半波处产生截止带。膜层数越多,膜层厚度和膜料色散的失配越严重,则倍频分束镜的半波孔越深。
- 韩金张锦龙程鑫彬王占山
- 关键词：薄膜光学色散
- 基频HfO_2/SiO_2高反射薄膜激光损伤生长特性被引量：2
- 2013年
- 以1064nm波长作用下的HfO2/SiO2高反射薄膜为研究对象,研究了高反射薄膜在损伤生长过程中分层剥落初始损伤结构的变化规律、损伤形貌特征和损伤生长阈值等特性。实验结果表明:分层剥落初始损伤结构的横向尺寸随激光能量密度的增加呈分段线性增长,破斑沿纵向拓展的损伤生长阈值是沿横向拓展的损伤生长阈值的2倍以上,初始损伤结构横向尺寸的生长率与能量密度呈指数关系,且生长阈值随着辐照次数的增加显著降低。
- 张艳云马彬马宏平焦宏飞程鑫彬
- 关键词：HFO2激光损伤阈值
- 清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响被引量：4
- 2012年
- 采用微分干涉显微镜、扫描电镜和聚焦离子束观察了偏振分光膜损伤的形貌,从损伤机理出发,研究了清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响。结果表明:清洗能有效去除表面杂质,清洗质量越好,基板上的杂质尺寸越小,杂质密度也越小,相应的偏振分光膜S光的损伤阈值越高;清洗能有效去除基板表面的纳米吸收中心,吸收性杂质分布密度越小,吸收峰越低,P光的损伤阈值越高。
- 叶晓雯王孝东程鑫彬马彬丁涛沈正祥王占山
- 关键词：弱吸收损伤阈值电子束蒸发
- SiO2/HfO2高反射膜的研制被引量：3
- 2012年
- 主要讨论了电子束蒸发SiO2/HfO2薄膜的面形控制和损伤性能。研究了电子束蒸发工艺参数对薄膜应力以及面形的影响;分析了制备工艺对薄膜吸收、节瘤缺陷密度的影响,测量了制备薄膜的损伤阈值。研究结果表明:调整SiO2蒸发时的氧分压可以有效地将薄膜的应力控制在-250～-50 MPa。同时采用金属Hf蒸发可以显著地将节瘤缺陷密度从12.6mm-2降低至2.7mm-2,同时将损伤阈值从30J/cm2提高至55J/cm2。
- 程鑫彬沈正祥焦宏飞马彬张锦龙丁涛王占山
- 关键词：应力面形激光损伤
- 偏振分光膜中节瘤的激光损伤特性被引量：4
- 2015年
- 研究了1 064 nm Hf O2/Si O2偏振分光膜中节瘤的损伤特性。为了研究偏振分光膜中节瘤缺陷种子源粒径大小与损伤阈值之间的关系,在熔石英基板上植入了尺寸和密度可控的单分散性的Si O2小球,并采用电子束蒸发技术在熔石英基板上制备了1 064 nm Hf O2/Si O2偏振分光膜。为了便于损伤测试,节瘤缺陷密度控制在20～40 mm2左右,并采取旋涂的措施防止了Si O2小球团聚的现象。为了获得人工节瘤损伤能量的统计值,用脉宽为10 ns的1 064 nm脉冲激光进行了光栅扫描式损伤测试。实验结果表明在偏振分光膜中节瘤缺陷的损伤阈值随着种子源粒径的增大而单调下降。
- 阿卜杜萨拉木.图尼亚孜程鑫彬鲍刚华焦宏飞王占山
- 关键词：激光损伤
- HfO_2薄膜折射率非均质性生长特性研究被引量：1
- 2015年
- 在加热的BK7基板上,采用电子束蒸发(EB)工艺制备了一系列不同厚度的Hf O2单层膜,对Hf O2薄膜生长过程中的折射率非均质性进行了研究。光谱分析表明薄膜非均质性与其厚度息息相关。X射线衍射(XRD)测试表明不同非均质性薄膜对应不同的微观结构;薄膜的微观结构主要由薄膜的生长机制决定。当膜厚较薄时,薄膜不易结晶,呈无定形态,此时薄膜呈正非均质性。如果沉积温度足够高,则薄膜达到一定厚度后开始结晶,此后薄膜折射率就会逐渐下降。随着薄膜继续生长,薄膜晶态结构保持恒定不再变化,非均质性也会因此保持不变达到极值。
- 鲍刚华程鑫彬焦宏飞刘华松王占山
- 关键词：光学薄膜电子束蒸发HFO2薄膜
