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上海市科学技术委员会资助项目(09-111)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：骆公序张伟潘涌沈冠群姜兆华更多>>
相关机构：上海市激光技术研究所上海市激光束精细加工重点实验室更多>>
发文基金：上海市科学技术委员会资助项目更多>>
相关领域：航空宇航科学技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 1篇衍射
  • 1篇衍射极限
  • 1篇紫外激光
  • 1篇微孔加工
  • 1篇激光
  • 1篇激光器
  • 1篇DPSS激光...

机构

  • 1篇上海市激光束...
  • 1篇上海市激光技...

作者

  • 1篇姜兆华
  • 1篇沈冠群
  • 1篇潘涌
  • 1篇张伟
  • 1篇骆公序

传媒

  • 1篇应用激光

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
紫外激光双光头精细加工系统及其应用被引量：1
2011年
采用355 nm波长、高重复频率、短脉冲DPSS紫外激光器作为光源,开发了激光精细加工装备,具有光束高速旋转打孔和光束偏转扫描加工两种不同的加工方式,两种加工方式可便捷切换,满足不同量级孔径的高质量激光精细加工需求。设计了专用的接近衍射极限的紫外光束旋转聚焦物镜和远心扫描透镜,保证了加工质量。
姜兆华张伟潘涌骆公序沈冠群
关键词：DPSS激光器微孔加工衍射极限
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