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基于局部与非局部线性判别分析和高斯混合模型动态集成的晶圆表面缺陷探测与识别被引量：16: 2016年; 在复杂的半导体制造过程中,晶圆生产经过薄膜沉积、蚀刻、抛光等多项复杂的工序,制造过程中的异常波动都可能导致晶圆缺陷产生.晶圆表面的缺陷模式通常反映了半导体制造过程的各种异常问题,生产线上通过探测和识别晶圆表面缺陷,可及时判断制造过程故障源并进行在线调整,降低晶圆成品率损失.本文提出了基于一种流形学习算法与高斯混合模型动态集成的晶圆表面缺陷在线探测与识别模型.首先该模型开发了一种新型流形学习算法—局部与非局部线性判别分析法(Local and nonlocal linear discriminant analysis,LNLDA),通过融合数据局部/非局部信息以及局部/非局部惩罚信息,有效地提取高维晶圆特征数据的内在流形结构信息,以最大化数据不同簇样本的低维映射距离,保持特征数据中相同簇的低维几何结构.针对线上晶圆缺陷产生的随机性和复杂性,该模型对每种晶圆缺陷模式构建相应的高斯混合模型(Gaussian mixture model,GMM),提出了基于高斯混合模型动态集成的晶圆缺陷在线探测与识别方法.本文提出的模型成功地应用到实际半导体制造过程的晶圆表面缺陷在线探测与识别,在WM-811K晶圆数据库的实验结果验证了该模型的有效性与实用性.; 余建波卢笑蕾宗卫周; 关键词：半导体制造模式识别流形学习高斯混合模型

基于GPRS和ZigBee的节能型LED路灯智能控制系统被引量：16: 2015年; 针对现有城市路灯控制系统路灯使用寿命短、无法远程操控、不能自动识别故障路灯的问题,提出一种基于GPRS网络技术和ZigBee无线通信技术的节能型LED路灯智能控制系统,使用ZigBee无线网络与LED路灯控制终端通信,并通过GPRS通讯模块接入GPRS网络与远程控制中心相连,实现远程控制LED路灯,此外,通过LED路灯控制终端实时采集路灯电压和电流,实现LED路灯的远程监控;具体阐述了GPRS通讯模块、ZigBee无线网络模块、LED控制终端的硬件设计方案,软件设计流程,系统通信协议和远程控制实现方法;测试结果证明此系统数据传输可靠、响应及时、成本低、易于实现LED路灯的远程控制和远程监控,具有较大的实用性和推广价值。; 经伟许堃余建波; 关键词：节能照明远程监控 LED路灯

基于二维局部均值分解的图像多尺度分析处理被引量：11: 2015年; 在图像多尺度分析时,为了对后续的图像处理提供高质量的特征输入,在一维局部均值分解算法基础上提出一种二维局部均值分解算法.首先采用优化的8-邻域算子求取图像中的局部极值点;然后针对鞍点对求解局部相邻极值点时的影响,提出一种基于自适应窗口的搜寻方法,以控制局部相邻极值点数求取局部相邻极值点,进而得到平滑的包络估计函数和局部均值函数;最后依据包络估计函数和局部均值函数,通过迭代寻优得到相应的乘积函数将图像分解成不同尺度下的成分.在人工合成图像与典型图像的多尺度分析处理结果表明,该算法可行有效;与二维经验模态分解算法的比较结果表明,该算法具有更快的速度和更好的处理效果;并对该算法中的重要参数进行了敏感性分析,验证了算法具有较好的鲁棒性,给出了比较合理的参数取值范围.; 陈思汉余建波; 关键词：二维经验模态分解多尺度分析

基于物联网与云接入技术的装配线监测系统设计被引量：2: 2016年; 设计了一种基于物联网与云接入技术的装配线监测系统,将新兴的物联网技术与云接入技术运用在生产装配环节中。该系统由传感终端设备、云中间件和监控中心软件组成,终端设备具有多功能、多用途、低成本、易嵌入和低功耗的特点,可以便捷地铺设在装配的各个环节中。对装配监测系统的优缺点进行总结,并对其应用前景进行展望。; 许堃余建波; 关键词：物联网监测系统

基于ARM和ZigBee的智能家居控制系统研究与开发被引量：32: 2013年; 为了解决家庭组网形式单一、布线繁琐、成本较高的问题,提出了一套家居网络节点的远程控制系统,结合ZigBee、GPRS/GSM和Internet通讯各自的优势和特点,设计了基于ARM微处理器STM32F107VCT6的多种通信技术组合的智能家居网关和基于CC2430无线收发芯片的ZigBee网络控制节点;文中阐述了系统组成结构和运作流程,提出了家居网关和ZigBee节点的硬件组成结构和软件实现方法,实际测试结果表明,该系统组网迅速,通信可靠性会受通信距离和周围环境的影响;在功能上,能够满足家庭远程监控、安防、家电控制的需求,实现了家居网络化和智能化管理,具有较大的实用性和推广价值。; 尹纪庭袁佳焦志曼吴斌张在房余建波; 关键词：ARM ZIGBEE 网关智能家居

基于GPRS和ZigBee的远程分布式灯光控制系统被引量：14: 2015年; 为解决城市灯光控制系统引起的耗能问题,提出一种基于GPRS(通用分组无线服务)和ZigBee的LED节能照明远程分布式智能控制系统。采用基于PWM(脉冲宽度调制调光)技术的智能控制终端,使用ZigBee无线网络进行LED灯具的终端通信,实现分布式智能控制;通过GPRS通讯模块接入GPRS网络和远程控制中心相连,实现远程智能控制。测试结果表明,该系统集成3种不同通讯模式实现LED灯光的远程分布式智能控制,可根据不同的场合灵活选择合适的控制方式;控制方便、易于扩展,具有较强的实用价值和推广意义。; 袁佳焦志曼余建波吴斌经伟许堃; 关键词：节能照明通用分组无线服务技术

基于多元通讯集中控制器的LED植物促生长智能照明控制系统被引量：1: 2016年; LED可以高效地释放特定波长的光线,促进植物光合作用;然而市场上较多采用的植物生长灯缺乏系统化的控制,订制成本高,可靠性和灵活性低;为了解决这些问题,开发了一套LED植物促生长智能照明控制系统;该系统采用集中分布式的架构,拓展了可控制的地域范围和优化了系统的响应能力;特别是系统采用了多元通讯模式,巧妙地融合了多种数据传输方式,其中包括多种远程通讯和局域网络通讯,极大地提高了控制系统的灵活性和可靠性;在该模式下,控制设备中嵌入了可配置的优先级列表,集中控制器实时检测并动态地选择高优先级且连接状态良好的通讯方式;在局域无线组网通讯中,提出了一套具有自愈和自维护功能的系统组网策略,极大地提高了下行网络的稳定程度;最后搭建了实验平台,测试了相关功能,试验结果良好;该控制系统具有高可靠性和高灵活性的特点,适应多种农业现场状况,拥有良好的市场潜力。; 许堃杨泽桢余建波; 关键词：远程控制

LMD滤噪算法及在旋转机械转子故障诊断中的应用被引量：2: 2015年; 利用噪声统计特性及局部均值分解算法(local mean decomposition,LMD)在信号分解过程中的自适应性,提出了一种新的基于LMD的自适应滤噪算法。该算法完全由数据驱动,可对信号自适应降噪,并将降噪后的信号分解为若干个瞬时频率具有物理意义的PF(Product function)分量。重构的信号可有效提高功率谱故障诊断的性能。通过对2种非平稳信号的仿真实验及在实际运行状态下采集的旋转机械转子振动信号降噪的应用,结果表明提出的算法降噪性能优于中值降噪、均值降噪、小波降噪、EMD软阀值降噪等典型滤噪算法。该算法也可在频域有效地用于旋转机械转子故障的诊断。; 杨梅陈思汉吴昊余建波; 关键词：振动与波旋转机械故障诊断局部均值分解

面向网络化车间制造的工序质量智能控制系统: 2014年; 针对分布式企业复杂的车间制造环境,如何进行实时有效的质量波动监控、异常波动的诊断分析以及过程中适时的工序调整,是进行工序质量控制面临的问题。提出了集质量监控-异常诊断-工序调整为一体的工序质量控制模式,构建了系统功能体系结构。综合运用相似制造、统计学习、神经网络、统计过程控制等理论,开发了面向网络化车间制造的工序质量智能控制系统。采用针对多品种、小批量过程的基于相似工序的工序质量控制技术和针对多变量过程的基于混合自组织映射模型的控制方法,应用B/S五层架构,完成了工序质量控制系统的开发,验证了系统的可行性,为网络化车间制造提供有效工序质量控制。; 焦志曼袁佳余建波; 关键词：工序网络化

基于Internet和ZigBee的制造车间分布式远程监测系统被引量：1: 2014年; 针对传统的车间监测系统采用有线连接存在工业现场线路多、布线复杂、维护困难等缺点,提出了一种基于Internet和ZigBee的制造车间分布式监测系统,使用传感器采集车间实时状态信息,通过ZigBee无线网络进行监测节点的终端通信,实现分布式智能监测,并通过Internet网络和远程监测中心相连,实现远程智能监测。阐述了系统组成和控制流程,开发设计了Internet通信模块、ZigBee无线网络模块、终端监测模块和系统控制软件,在实验中以SHT11传感器为例,实现对车间信息的实时监测。实验表明,系统具有较大的灵活性和扩展性,具有布点灵活、能耗低、使用方便等特点,通过选择不同传感器,能很好地满足很多场合的参数监测需求,具有较好的应用前景。; 袁佳焦志曼余建波; 关键词：分布式远程监测 INTERNET ZIGBEE

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上海市教育委员会创新基金(13YZ002)

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