安徽省高等学校优秀青年人才基金(2010SQRL094)
- 作品数：2 被引量：6H指数：2
- 相关作者：吴跃波雷声吴孙桃杨启耀黄磊更多>>
- 相关机构：安徽建筑工业学院厦门大学更多>>
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- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 退火对ZnO薄膜特性的影响与紫外探测器的研制被引量：4
- 2012年
- 利用射频磁控溅射技术在SiO2/n-Si和石英玻璃衬底上制备了具有C轴择优取向的ZnO薄膜,研究了退火对ZnO薄膜特性的影响,并在以SiO2/n-Si为衬底、退火温度为900℃的薄膜上制作了Ag-ZnO-Ag肖特基型和Au-ZnO-Au光电导型MSM叉指结构的紫外探测器。所制作的两种MSM紫外探测器在350 nm波长紫外光照下电流增加,在紫外波段有较高的响应度,光响应度峰值在370 nm附近。
- 吴跃波杨启耀雷声吴孙桃
- 关键词：ZNO薄膜磁控溅射肖特基紫外探测器
- 磁控溅射功率对掺Al氧化锌薄膜特性的影响被引量：2
- 2011年
- 利用射频磁控溅射技术在石英玻璃衬底上制备掺Al氧化锌(AZO)薄膜,研究了不同溅射功率(75,120,160,200 W)对AZO薄膜的结构、光学和电学特性的影响。结果表明:所制备的AZO薄膜具有良好的c轴择优取向,且随着溅射功率的增加,薄膜的表面颗粒尺寸逐渐增加;薄膜在可见光范围具有较高的透射率,吸收边在350～400 nm波段;随着溅射功率的增加,载流子浓度和迁移率逐渐增大,电阻率逐渐下降。
- 吴跃波罗敏雪雷声黄磊
- 关键词：AZO薄膜磁控溅射透射率电阻率
