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科技部基础性研究重大项目(2004CCA03700)

作品数：2 被引量：4H指数：1
相关作者：胡礼中梁秀萍张红治潘石田怡春更多>>
相关机构：大连理工大学更多>>
发文基金：科技部基础性研究重大项目国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇液相外延
  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇VCSEL
  • 1篇GAAS

机构

  • 2篇大连理工大学

作者

  • 2篇田怡春
  • 2篇潘石
  • 2篇张红治
  • 2篇梁秀萍
  • 2篇胡礼中
  • 1篇孙晓娟
  • 1篇张籍权

传媒

  • 1篇光电子．激光
  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
GaAs微探尖的衬底选择刻蚀法剥离和转移被引量：3
2007年
报道了一种用于制作扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖的剥离和转移方法—GaAs衬底选择湿法刻蚀技术。利用扫描电子显微镜对转移后的微探尖进行了表征。结果表明,通过此方法能够成功地将GaAs微探尖转移到目标晶片上,并且在剥离和转移过程中微探尖没有受到损伤。这种技术对实现由带有PIN光探测器的垂直腔面发射激光器与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着非常重要的应用价值。
孙晓娟胡礼中田怡春张籍权张红治梁秀萍潘石
关键词：湿法刻蚀液相外延
LPE-GaAs微探尖与VCSEL的粘合集成被引量：1
2008年
介绍了应用于扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖与垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的粘合集成方法,并利用扫描电子显微镜对集成后的微探尖与VCSEL进行了表征。结果表明,该种方法能够成功地将微探尖转移并集成到VCSEL的出光窗口上,实现微探尖与出光窗口的对准,并且整个过程中不会对微探尖造成损伤。这种技术对进一步实现由带有PIN光探测器的VCSEL与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着重要的应用价值。
田怡春胡礼中梁秀萍张红治潘石
关键词：液相外延
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