国家教育部博士点基金(20114420120002)
- 作品数：4 被引量：6H指数：1
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- 喷淋蚀刻模具钢的蚀刻深度研究
- 2013年
- 采用喷淋式蚀刻机,以FeCl3基蚀刻液对模具钢进行喷淋蚀刻,通过测定不同蚀刻液温度、不同喷淋压力下的蚀刻深度,考察了几个独立因素对蚀刻深度的影响,得出蚀刻深度的规律性变化:蚀刻深度增长速率随蚀刻液温度的升高而增大,随喷淋压力的增大而先增大,后逐渐减小。分析了蚀刻深度呈此种变化规律的原因。
- 宋卿于兆勤张永俊王冠
- 加工电压对微细电解加工凹槽的影响研究被引量：1
- 2016年
- 采用电解加工方式对模具钢进行微细电解加工,主要研究加工电压对电解深度和侧蚀量的影响。利用单因素方差分析法对因素水平进行显著性检验,采用Origin Pro8.0软件分别拟合加工电压对电解深度、侧蚀量的影响曲线,并进行分析。实验分析表明,加工电压对电解深度及侧蚀量有显著性影响。在电解温度(30℃)进行微细电解加工时,电解深度随加工电压的增大而增大;在同样的加工参数下,侧蚀量随加工电压的增大先快速增大后缓慢增加。
- 何宇斌王冠黄红光
- 关键词：模具钢微细电解加工
- 模具钢表面阵列微结构蚀刻工艺的实验研究被引量：5
- 2014年
- 通过喷淋蚀刻实验研究了模具钢微细蚀刻加工时,工件掩膜间隙、蚀刻液喷淋压力和加工时间对蚀刻深度的影响。蚀刻深度随掩膜间隙的蚀刻尺寸、加工时间的增加而增大,随蚀刻液喷淋压力的增大呈先增大后减小趋势。这归因于掩膜间隙和蚀刻液喷淋压力的增大加快了蚀刻液的更新,使蚀刻反应充分并有利于反应杂质的排除。但是过大的喷淋压力减小了蚀刻液驻留时间,阻碍了蚀刻深度的增加。
- 黄红光郭钟宁王冠宋卿
- 模具钢喷淋微细蚀刻的侧蚀研究
- 2014年
- 对掩膜处理的模具钢进行喷淋微细蚀刻,观测表面微观结构,分析掩膜间隙尺寸、喷淋压力对侧蚀量的影响。实验表明,随着掩膜间隙尺寸的增大,侧蚀量增大,这是因为微结构凹坑内部蚀刻液的滞留和对O2阻碍作用,造成了不同部位蚀刻速率不同,发生侧蚀;喷淋压力增大也导致侧蚀量增加,因为较大压力下蚀刻液的侧向蚀除力大,侧向蚀除作用强,同时蚀刻液更新频率快,反应速率提高,侧蚀增大。在微细蚀刻加工中合理地选择掩膜间隙尺寸,控制加工时间和喷淋压力,可以较好地控制侧蚀,保证较高的加工尺寸精度。
- 宋卿于兆勤王冠郭钟宁黄红光
- 关键词：侧蚀
