国家自然科学基金(91123014)
- 作品数：4 被引量：45H指数：4
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- 发文基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 轴对称矢量光束聚焦特性研究现状及其应用被引量：7
- 2013年
- 轴对称矢量光束是一种空间非均匀偏振光束,中心光强为零,经物镜聚焦后能在焦点附近产生空间场分量.在高变迹系数光学系统成像情况下,与线偏光、圆偏光相比,径向偏振光与光瞳滤波技术及图像复原技术结合,能获得较小焦斑,提高横向分辨力.介绍了轴对称矢量光束的特性,基于电偶极子辐射模型和矢量衍射理论研究了轴对称矢量光束经高数值孔径物镜聚焦后的特性,系统介绍了基于轴对称矢量光束实现光斑紧聚焦的几种方法,并简述了轴对称矢量光束在差动共焦超分辨成像领域的研究设想.
- 赵维谦唐芳邱丽荣刘大礼
- 关键词：光瞳滤波
- 激光共焦透镜曲率半径测量系统被引量：26
- 2013年
- 基于共焦技术独特的轴向层析定焦能力并结合气浮导轨平移台和激光干涉仪测长系统,研制了一套高精度、非接触激光共焦透镜曲率半径测量系统。该系统利用共焦轴向光强响应曲线的峰值点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,使用峰值点对被测透镜的猫眼位置及共焦位置进行精确定位,并结合激光干涉仪获得透镜猫眼位置及共焦位置坐标值,从而计算得到透镜的曲率半径。系统由主控软件控制气浮导轨带动被测透镜在猫眼位置及共焦位置附近进行扫描测量,并实现信号采集和数据处理。实验表明,利用该系统测量透镜的曲率半径时,测量重复性优于2μm,满足国内高精度透镜曲率半径测量的精度需求。该系统测量速度快、操作简便、结构简单且易于实现小型化。
- 邱丽荣李佳赵维谦杨佳苗
- 关键词：非接触测量激光干涉仪
- 激光差动共焦显微成像中的轴向快速定焦方法被引量：8
- 2015年
- 提出了一种基于光强信号实时判断的快速定焦方法,在对样品进行横向扫描的同时,驱动测量物镜轴向移动,对前焦探测器和后焦探测器采集到的光强信号进行实时处理,通过实时判断测量面与样品的位置关系迅速找到焦面位置,可实现快速、准确的轴向定焦,极大地提升了定焦速度。理论分析和初步的实验表明,该方法在一副图像的采集周期内能够实现轴向定焦,在同等定焦精度条件下,与清晰度定焦方法相比,可节省90℅以上的定焦时间。
- 毛新越赵维谦王允刘大礼王蕾
- 关键词：显微成像
- 差动共焦显微边缘轮廓检测与定位方法被引量：5
- 2014年
- 为了实现高效、准确的检测和定位微结构如光刻掩模版的边缘轮廓,提出了一种差动共焦显微(DCM)边缘轮廓检测方法,并对该方法进行了原理仿真分析和实验验证。该方法具有在焦点的过零阶跃触发特性。利用该特性,该方法可以实时得到样品二值化边缘轮廓图像,极大地提高了边缘轮廓检测效率。理论分析和仿真表明,该方法边缘定位准确,不受边缘形状、方向和样品有效反射率的影响,可以有效抑制噪声和干扰。5μm周期台阶标准样品周期测量对比实验表明,该方法所得边缘轮廓能够实现高精度的横向尺寸测量,因此能够用于微结构的快速工业边缘轮廓成像检测。
- 刘大礼王允邱丽荣赵维谦
- 关键词：过零触发
