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中国博士后科学基金(20100471624)

作品数：4 被引量：5H指数：2
相关作者：张涛李敏张淑仪马宏伟赵省贵更多>>
相关机构：西安科技大学南京大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金陕西省自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程矿业工程理学更多>>

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 3篇一般工业技术
  • 2篇电气工程
  • 1篇矿业工程
  • 1篇理学

主题

  • 2篇铁电
  • 2篇铁电薄膜
  • 1篇单晶
  • 1篇电极
  • 1篇电极效应
  • 1篇电性能
  • 1篇多晶
  • 1篇压电
  • 1篇压电薄膜
  • 1篇压电性
  • 1篇压电性能
  • 1篇三元系
  • 1篇声表面波
  • 1篇体声波
  • 1篇体声波谐振器
  • 1篇铁电性
  • 1篇铁电性能
  • 1篇瓦斯
  • 1篇瓦斯传感器
  • 1篇谐振器

机构

  • 4篇西安科技大学
  • 2篇南京大学

作者

  • 4篇张涛
  • 2篇赵省贵
  • 2篇马宏伟
  • 2篇张淑仪
  • 2篇周胜男
  • 2篇李敏
  • 1篇解忧
  • 1篇孙斌
  • 1篇刘婷

传媒

  • 2篇功能材料
  • 1篇微电子学与计...
  • 1篇西安科技大学...

年份

  • 3篇2012
  • 1篇2011
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
硅基三元系PMnN-PZT铁电薄膜制备与研究被引量：2
2012年
利用磁控溅射方法在单晶Si基底上沉积三元系铁电薄膜6%PMnN-94%PZT(6%Pb(Mn1/3,Nb2/3)O3-94%Pb(Zr0.52,Ti0.48)O3),采用淬火方法对薄膜进行处理,以促进薄膜钙钛矿结构形成。同时,在相同条件下制备非掺杂PZT(52/48)薄膜以对比薄膜掺杂效果。运用X射线衍射(XRD)技术分析薄膜晶向及晶体结构,运用Sawyer Tower电路测试薄膜铁电性能,运用激光测振仪测试薄膜的压电系数。实验结果表明,所沉积薄膜为多晶钙钛矿结构铁电薄膜,薄膜铁电剩余极化Pr=23.7μC/cm2,饱和极化Ps=40μC/cm2,矫顽场电压2Ec=139kV/cm,横向压电系数e11=-13.2C/m2,薄膜的铁电及压电性能优良。
张涛张淑仪李敏周胜男孙斌
关键词：铁电性能压电性能
薄膜体声波谐振器电极效应研究
2012年
运用传输线路法推导了薄膜体声波谐振器(Thin Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)的输入阻抗公式.利用输入阻抗公式,研究了不同材料FBAR构成中电极材料和厚度对FBAR有效机电耦合系数的影响,FBAR最大有效机电耦合系数优化理论.由结论可知,FBAR的有效机电耦合系数随电极的厚度和密度变化明显,在低密度电极材料时,电极厚度增大明显降低了FBAR的有效机电耦合系数;同时,在电极厚度较厚时,电极密度越大越有利于获取高的有效机电耦合系数.所得结论,可应用于FBAR设计与优化中.
张涛解忧刘婷周胜男
关键词：薄膜体声波谐振器电极效应
单晶PMnN-PZT铁电薄膜制备与表征被引量：3
2012年
利用磁控溅射方法,在MgO基底上沉积三元系铁电薄膜6%PMnN-94%PZT(6%Pb(Mn1/3,Nb2/3)O3-94%Pb(Zr0.45,Ti0.55)O3),采用淬火方法对薄膜进行后期热处理。分别运用面内和面外X射线衍射(XRD)技术分析薄膜长相及晶体结构,运用高分辨率扫描电镜(SEM)观察薄膜的晶粒表面及截面结构。实验结果表明,所沉积薄膜为单晶钙钛矿结构薄膜,薄膜结构优良。
张涛马宏伟张淑仪李敏赵省贵
关键词：磁控溅射
声表面波瓦斯传感器高压电薄膜研究被引量：1
2011年
我国煤矿瓦斯事故频发,造成大量人员伤亡和国有资源流失。声表面波瓦斯传感器体积小、工作稳定,能够有效提高煤矿瓦斯监、检能力,减少瓦斯事故。声表面波瓦斯传感器的灵敏度主要取决于压电薄膜的压电系数及机械品质因数,因而高压电系数、高机械品质因数的压电薄膜对于制备高性能声表面波瓦斯传感器具有重要意义。文中通过磁控溅射法沉积PMnN-PZT三元系铁电薄膜,所得薄膜具有高压电性及较高的机械品质因数,有望应用于声表面波瓦斯传感器制备。
张涛马宏伟赵省贵
关键词：声表面波瓦斯传感器压电薄膜
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